SiC protsessitoru

Semicorex SiC (ränikarbiidi) protsessitoru on spetsiaalne komponent, mida kasutatakse vahvlite kuumtöötlusprotsessides, eriti rakendustes, mis nõuavad kõrget temperatuuri, söövitavat keskkonda või mõlemat. See on loodud pooljuhtplaatidele kaitsva ja kontrollitud keskkonna tagamiseks kuumtöötlemise või termilise töötlemise ajal.

Protsessitoru on hoolikalt konstrueeritud nii, et tekiks suletud kamber, kuhu asetatakse vahvlid kuumtöötlemiseks. See toimib barjäärina, vältides vahvlite otsest kokkupuudet ümbritseva keskkonnaga. See isolatsioon on ülioluline töötlemiskeskkonna puhtuse säilitamiseks ja vahvlite kaitsmiseks saastumise eest.

SiC protsessitoru sees toimub vahvlite kuumtöötlus. See võib hõlmata mitmesuguseid protsesse, nagu lõõmutamine, oksüdatsioon, difusioon ja muud termilised töötlused, mis on vajalikud vahvlimaterjali omaduste muutmiseks. Toru omadused, nagu kõrge soojusjuhtivus ja vastupidavus keemilisele rünnakule, aitavad tagada ühtlase temperatuurijaotuse ja vahvlite kaitse.

SiC protsessitorud on vahvlite kuumtöötlusprotsesside kriitilised komponendid. Nende vastupidavus kõrgele temperatuurile, keemiline inertsus ja võime luua kontrollitud keskkond tagavad termilise töötlemise etappide eduka läbiviimise, mis viib kvaliteetsete pooljuhtplaatide tootmiseni.