SIC horisontaalsed ahjutorud

SIC horisontaalsed ahjutorudon ahjusüsteemi asendamatud kandjad, mis asuvad tavaliselt pooljuhtide või fotogalvaaniliste tootmisseadmete südamiku küttepiirkonnas. Need töötavad koos kütteelementide, temperatuuri reguleerimise süsteemide, gaasi juhtimissüsteemide ja vahvlipaatidega, et moodustada täielik ahjusüsteem.

Tegelikus töös soojendatakse SIC horisontaalseid ahjutorusid kütteelementidega, mis ränikarbiidmaterjalide suurepärase soojusjuhtivuse abil edastavad soojuse ühtlaselt ahju torudesse. Samal ajal juhitakse ahju torusse spetsiifilised protsessigaasid (nagu hapnik, lämmastik, dopinggaasid jne). Selle kõrge temperatuuriga gaasiatmosfääri mõjul toimuvad ahjus olevad pooljuhtmaterjalid keemilised reaktsioonid või füüsikalised muutused, mille tulemuseks on materjali modifitseerimine, doping või struktuuri optimeerimine.

Semicorexi SIC horisontaalsed ahjutorud tagavad märkimisväärse mehaanilise tugevuse ja kõvaduse, mis mängib olulist rolli rakendustes, mis hõlmavad suuremahuliste vahvlite käitlemist ja töötlemist. SIC horisontaalsed ahjutorud on võimelised pakkuma stabiilset tuge vahvlitele sellistes kuumtöötlusprotsessides nagu oksüdatsioon, difusioon ja lõõmutamine, tagades, et vahvlid on kõrgel temperatuuril töötlemisel õiges asendis ja vältides termilise stressi põhjustatud nihkumist või deformatsiooni.

Semicorexi SIC horisontaalsed ahjutorud on valmistatud kõrge puhtusastmegaränikarbiidist keraamikaülimadala lisandisisaldusega, millele järgneb CVD sadestumineränikarbiidkatenende pinnal. See tootmismeetod lisab SIC horisontaalsetele ahjutorudele kaitsekihi, mis võimaldab neil aja jooksul stabiilselt töötada nõudlikes kõrge temperatuuriga ja korrodeerivates keskkondades. See SIC horisontaalsete ahjutorude korrosioonikindlus parandab pooljuhtplaatide tootmise efektiivsust, vähendades tõhusalt korrosiooniga seotud komponentide kahjustuste riski ja vähendades vajadust sagedase asendamise ja hoolduse järele.

Nii paljude suurepäraste omadustega Semicorexi SIC horisontaalse ahju torusid kasutatakse laialdaselt paljudes kõrge temperatuuriga töötlemisprotsessides fotogalvaanilises ja pooljuhtide tööstuses, nagu oksüdatsiooniprotsess, difusiooniprotsess, lõõmutamisprotsess ja madalrõhul keemiline aurustamine.