SiC fookusrõngad

Semicorexi täiustatud, kõrge puhtusastmega SiC fookusrõngad on ehitatud nii, et need taluvad plasmasöövitus- (või kuivsöövitus-) kambrites äärmuslikke keskkondi. Keskendume pooljuhtide tööstustele, nagu ränikarbiidi kihid ja epitaksilised pooljuhid. Meie toodetel on hea hinnaeelis ja need hõlmavad paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorex tarnib SiC Focus Rings on tõesti stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks. SiC fookusrõngad või servarõngad on loodud söövituse ühtluse parandamiseks vahvli serva või perimeetri ümber. Vähendage saastumist ja plaanivälist hooldust kõrge puhtusastmega komponentidega, mis on konstrueeritud plasmasöövitamise raskuste jaoks. Meie SiC-kattega fookusrõngad on tihe, kulumiskindel ränikarbiidist (SiC) kate. Sellel on kõrged korrosiooni- ja kuumakindlusomadused ning suurepärane soojusjuhtivus. Me kanname SiC õhukeste kihtidena grafiidile keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi abil.

SiC fookusrõngaste parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

SiC fookusrõngaste omadused

- CVD ränikarbiidkatted kasutusea pikendamiseks.

- Suure jõudlusega puhastatud jäigast süsinikust valmistatud soojusisolatsioon.

- Süsinik/süsinik komposiitküttekeha ja plaat. - Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.

- Kõrge puhtusastmega grafiit ja SiC kate, mis tagab aukude vastupidavuse ja pikema eluea