SiC-kattega kristallide kasvususseptor

Oma kõrge sulamistemperatuuri, oksüdatsioonikindluse ja korrosioonikindlusega on Semicorexi SiC-kattega kristallide kasvususceptor ideaalne valik üksikute kristallide kasvatamiseks. Selle ränikarbiidkate tagab suurepärase tasasuse ja soojusjaotusomadused, muutes selle ideaalseks valikuks kõrge temperatuuriga keskkondades.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorexi SiC-kattega kristallide kasvususceptor on tänu oma erakordsele soojusjuhtivusele ja soojusjaotusomadustele ideaalne valik pooljuhtplaatidele epitaksiaalse kihi moodustamiseks. Selle kõrge puhtusastmega SiC kate tagab suurepärase kaitse isegi kõige nõudlikumates kõrge temperatuuriga ja söövitavates keskkondades.
Meie SiC-kattega kristallide kasvususseptor on loodud parima laminaarse gaasivoolu mustri saavutamiseks, tagades termilise profiili ühtluse. See aitab vältida saastumist või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie SiC-kattega kristallide kasvususseptori kohta.

SiC-kattega kristallide kasvususseptori parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

SiC-kattega kristallide kasvususseptori omadused

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.

- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.

- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.

- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.