SiC-kattega grafiidist tünn-suseptor

Kui otsite suure jõudlusega grafiidist sustseptorit pooljuhtide tootmiseks, on Semicorexi SiC kaetud grafiiditünnide sustseptor ideaalne valik. Selle erakordne soojusjuhtivus ja soojusjaotusomadused muudavad selle parimaks valikuks usaldusväärseks ja ühtlaseks tööks kõrgel temperatuuril ja korrodeerivas keskkonnas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorex SiC kaetud grafiittünn Susceptor on ideaalne valik pooljuhtide tootmise rakendustele, mis nõuavad erakordset soojusjaotust ja soojusjuhtivust. Selle kõrge puhtusastmega SiC kate ja suurepärane tihedus tagavad suurepärased kaitse- ja soojusjaotusomadused, tagades usaldusväärse ja ühtlase jõudluse ka kõige keerulisemates keskkondades.

Meie ränidioksiidiga kaetud grafiittünn Susceptor on loodud parima laminaarse gaasivoolu mustri saavutamiseks, tagades termilise profiili ühtluse. See aitab vältida saastumist või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu.

Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie SiC-kattega grafiittünnide susceptori kohta.

SiC kaetud grafiittünnide susceptori parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

SiC-kattega grafiittünni susceptori omadused

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.

- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.

- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.

- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.