Semicorexi SiC-kattega tünnsusceptor LPE jaoks on tänu oma erakordselt tasasele pinnale ja kvaliteetsele SiC-kattele ideaalne valik üksikute kristallide kasvatamiseks. Selle kõrge sulamistemperatuur, oksüdatsioonikindlus ja korrosioonikindlus muudavad selle ideaalseks valikuks kasutamiseks kõrgel temperatuuril ja söövitavas keskkonnas.
Kas otsite erakordse soojusjaotuse ja soojusjuhtivusega grafiidisusseptorit? Otsige kaugemale kui Semicorexi SiC-ga kaetud tünnsusceptor LPE jaoks, mis on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mis tagab suurepärase jõudluse LPE protsessides ja muudes pooljuhtide tootmise rakendustes.
Semicorexis keskendume oma klientidele kvaliteetsete ja kulutõhusate toodete pakkumisele. Meie ränidioksiidiga kaetud tünnsusceptor LPE jaoks on hinnaeelis ja seda eksporditakse paljudele Euroopa ja Ameerika turgudele. Meie eesmärk on olla teie pikaajaline partner, pakkudes ühtlase kvaliteediga tooteid ja erakordset klienditeenindust.
SiC-kattega tünni sustseptori parameetrid LPE jaoks
CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid |
||
SiC-CVD omadused |
||
Kristalli struktuur |
FCC β faas |
|
Tihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Keemiline puhtus |
% |
99.99995 |
Soojusmahtuvus |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Youngi moodul |
Gpa (4p bend, 1300â) |
430 |
Soojuspaisumine (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
SiC-kattega tünnsusceptori omadused LPE jaoks
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.
- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.
- Vähendage grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi soojuspaisumisteguri erinevust, parandage tõhusalt sideme tugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.