Kõrge sulamistemperatuuri, oksüdatsioonikindluse ja korrosioonikindlusega on Semicorexi SiC-kattega tünnsusceptor LPE kasvu jaoks ideaalne valik monokristallide kasvatamiseks. Selle ränikarbiidkate tagab erakordse tasasuse ja soojusjaotusomadused, tagades usaldusväärse ja ühtlase jõudluse isegi kõige nõudlikumates kõrge temperatuuriga keskkondades.
LPE kasvu jaoks mõeldud Semicorexi SiC-kattega tünnsusceptor on kõrge puhtusastmega SiC-ga kaetud tippkvaliteediga grafiittoode, mis on loodud spetsiaalselt LPE protsesside ja muude pooljuhtide tootmise rakenduste jaoks. Selle erakordne tihedus ja soojusjuhtivus tagavad suurepärase soojusjaotuse ja kaitse kõrgel temperatuuril ja söövitavas keskkonnas.
Semicorexis keskendume kvaliteetse ja kulutõhusa SiC-kattega tünnsusceptori pakkumisele LPE kasvu jaoks, peame esmatähtsaks klientide rahulolu ja pakume kulutõhusaid lahendusi. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks, pakkudes kvaliteetseid tooteid ja erakordset klienditeenindust.
SiC-kattega tünni sustseptori parameetrid LPE kasvu jaoks
CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid |
||
SiC-CVD omadused |
||
Kristalli struktuur |
FCC β faas |
|
Tihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Keemiline puhtus |
% |
99.99995 |
Soojusmahtuvus |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Youngi moodul |
Gpa (4p bend, 1300â) |
430 |
Soojuspaisumine (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
SiC-kattega tünnsusseptori omadused LPE kasvu jaoks
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.
- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.
- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.