SiC-kattega tünnsusseptor

Oma kõrge sulamistemperatuuri, oksüdatsioonikindluse ja korrosioonikindlusega on Semicorexi SiC-kattega tünnsusceptor ideaalne valik monokristallide kasvatamiseks. Selle ränikarbiidkate tagab erakordse tasasuse ja soojusjaotusomadused, tagades usaldusväärse ja ühtlase jõudluse isegi kõige nõudlikumates kõrge temperatuuriga keskkondades.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorexi SiC-kattega barrel Susceptor on kõrge puhtusastmega SiC-ga kaetud tippkvaliteediga grafiittoode, mis on loodud spetsiaalselt LPE protsesside ja muude pooljuhtide tootmise rakenduste jaoks. Selle erakordne tihedus ja soojusjuhtivus tagavad suurepärase soojusjaotuse ja kaitse kõrgel temperatuuril ja söövitavas keskkonnas.
Semicorexis keskendume kvaliteetse ja kulutõhusa SiC-kattega tünnsusceptori pakkumisele, seame esikohale klientide rahulolu ja pakume kuluefektiivseid lahendusi. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks, pakkudes kvaliteetseid tooteid ja erakordset klienditeenindust.

SiC-kattega tünni sustseptori parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusmahtuvus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

SiC-kattega tünnsusceptori omadused

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.

- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.

- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.

- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.