SiC-kattega tünn-suseptor epitaksiaalseks kasvuks

Suurepärase tiheduse ja soojusjuhtivusega Semicorex SiC kaetud tünnsusceptor epitaksiaalseks kasvuks on ideaalne valik kasutamiseks kõrge temperatuuriga ja söövitavas keskkonnas. Kõrge puhtusastmega SiC-ga kaetud grafiittoode pakub suurepärast kaitset ja soojusjaotust, tagades usaldusväärse ja ühtlase jõudluse pooljuhtide tootmise rakendustes.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorex SiC kaetud tünnsusceptor epitaksiaalseks kasvuks on tänu oma suurepärasele soojusjuhtivusele ja soojusjaotusomadustele ideaalne valik pooljuhtplaatidel epiksiaalse kihi moodustamiseks. Selle ränikarbiidist kate tagab suurepärase kaitse ka kõige nõudlikumates kõrge temperatuuriga ja söövitavates keskkondades.

Semicorexis keskendume oma klientidele kvaliteetsete ja kulutõhusate toodete pakkumisele. Meie Epitaxial Growth jaoks mõeldud ränidioksiidiga kaetud tünnsusceptor on hinnaeelisega ja seda eksporditakse paljudele Euroopa ja Ameerika turgudele. Meie eesmärk on olla teie pikaajaline partner, pakkudes ühtlase kvaliteediga tooteid ja erakordset klienditeenindust.

SiC-ga kaetud tünni sustseptori parameetrid epitaksiaalseks kasvuks

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

SiC-kattega tünnsusseptori omadused epitaksiaalseks kasvuks

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.

- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.

- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.

- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.