SiC keraamilised vaakumpadrunid

Täppisprojekteeritud mikroavad on ühtlaselt jaotatud üle SiC keraamiliste vaakumpadrunite pinnale, mis võimaldab usaldusväärset ühendust välise vaakumseadmega. Töötamise ajal aktiveeritakse vaakumpump, et tõmmata õhk läbi aukude, tekitades pooljuhtplaadi ja vaakumpadruni vahele alarõhukeskkonna. See võimaldab seega vahvlit ühtlaselt ja kindlalt hoida vaakumpadruni pinnal.

Semicorex SiC keraamiliste vaakumpadrunite eelised

1. Premium materjali valik

SemicorexSiC keraamilised vaakumpadrunidValige tooraineks hoolikalt kõrge puhtusastmega ränikarbiid. Semicorexi range kontroll materjali puhtuse üle hoiab tõhusalt ära vahvlite saastumise, mis on põhjustatud lisanditest töötamise ajal, täites seega kasvavad nõudmised tootmise puhtuse ja saagikuse järele.

2. peentöötluse täpsus

Semicorex SiC keraamiliste vaakumpadrunite pind läbib peegelpoleerimise ja nende tasasust kontrollitakse 0,3–0,5 μm juures. See äärmuslik tasasuse kontroll võimaldab optimaalset kontaktiefekti, mis vähendab oluliselt karedatest kontaktpindadest põhjustatud vahvlikriimustuste ohtu. Kõik vaakumpadrunite mikroavad ja sooned on täppistöödeldud, tagades seeläbi stabiilse ja ühtlase adsorptsiooniefekti töötamise ajal.

3. Paindlikud kohandamisteenused

Semicorex pakub meie hinnatud klientidele kohandamisteenuseid, pakkudes erineva suurusega SiC keraamilisi vaakumpadruneid, nagu 6-tolline, 8-tolline, 12-tolline. Saame kohandada mõõtmete tolerantse, pooride suurust, tasasust ja karedust vastavalt kliendi nõudmistele, tagades täiusliku sobivuse teie pooljuhtide töötlemis- ja kontrolliseadmetega.

4. Suurepärane vastupidavus ja eluiga

SemicorexSiC keraamikavaakumpadrunid moodustatakse isostaatilise pressimise teel ja paagutatakse seejärel kõrgel temperatuuril. Pärast seda spetsiaalset protsessitehnoloogiat on Semicorexi SiC keraamilistel vaakumpadrunidel mitu suurepärast jõudlust, näiteks kerge, kõrge jäikus, tugev kulumiskindlus ja madal soojuspaisumiskoefitsient. Need omadused võimaldavad Semicorexi SiC keraamilisi vaakumpadruneid pidevalt kasutada pooljuhtplaatide käsitsemise ja töötlemise keerulistes tingimustes.