SiC keraamiline vaakumpadrun

Moore'i seaduse poole püüdledes vajavad pooljuhtide tootmisrajatised vahvlite hoidmise platvorme, mis taluvad suuri mehaanilisi jõude ja jäävad tasaseks, ilma põrutusteta või langusteta. Semicorex SiC keraamiline vaakumpadrun pakub ideaalset lahendust traditsiooniliste alumiiniumoksiidi ja roostevabast terasest padrunite asendamiseks; need tagavad vajaliku jäikuse ja kaalu suhte ning ei reageeri keemiliselt, mis mõlemad on olulised 300 mm vahvlite töötlemiseks ja kaugemalegi.

1. Materjali eelised paagutatud tiheda ränikarbiidi (SSiC) kasutamisel.

Meie põhikomponentSiC keraamikaVaakumpadrun on paagutatudRänikarbiid, materjal, mida iseloomustab selle väga tugev kovalentne side. Meie SSiC ei ole poorne ega reaktsiooniga seotud; pigem paagutatakse seda temperatuuril > 2000 kraadi Celsiuse järgi, et saavutada peaaegu teoreetiline tihedus (> 3,10 g/cm3) – lihtsalt öeldes on see tahkem kui teised vaakumpadrunite valmistamiseks kasutatavad materjalid.

Erakordne mehaaniline jäikus.

Youngi SSiC moodul on ligikaudu 420 GPa, muutes selle palju jäigemaks kui alumiiniumoksiid (ligikaudu 380 GPa). Selle kõrge elastsusmooduli tõttu püsivad meie padrunid stabiilsed nii vaakumis kui ka suurel kiirusel pöörlemise tingimustes ega deformeeru; seega ei hakka vahvlid "kartulitükid" (st kõverduma) ja puutuvad alati ühtlaselt kogu oma pinna ulatuses.

Termiline stabiilsus ja madal CTE

Protsessides, mis hõlmavad suure intensiivsusega UV-valgust või hõõrdumisest põhjustatud kuumust, võib soojuspaisumine põhjustada ülekattevigu. Meie SiC padrunite soojuspaisumise koefitsient (CTE) on madal 4,0 x 10^{-6}/K, millele lisandub kõrge soojusjuhtivus (>120 W/m·K). See kombinatsioon võimaldab padrunil soojust kiiresti hajutada, säilitades mõõtmete stabiilsuse pikaajaliste litograafia- või metroloogiatsüklite ajal.

2. Täppistehnika ja -disain

Nagu tootepildil näha, on meie vaakumpadrunitel keerukas kontsentriliste ja radiaalsete vaakumkanalite võrgustik. Need on CNC-töödeldud äärmise täpsusega, et tagada ühtlane imemine üle vahvli, minimeerides lokaalseid pingepunkte, mis võivad viia vahvli purunemiseni.

Submikronitasasus: kasutame täiustatud teemantlihvimis- ja lapitustehnikaid, et saavutada globaalne tasapinnalisus <1 μm. See on ülioluline täiustatud litograafiasõlmedes vajaliku fookussügavuse säilitamiseks.

Kergekaalulisus (valikuline): stepperite ja skannerite suure kiirenduse etappide jaoks pakume sisemisi kärgstruktuuriga "kergekaalulisi" struktuure, mis vähendavad massi, ilma et see kahjustaks konstruktsiooni jäikust.

Perimeetri joonduse sälgud: integreeritud sälgud võimaldavad sujuvat integreerimist robot-otsandajate ja joondusanduritega protsessitööriistas.

3. Kriitilised rakendused pooljuhtide tarneahelas

Meie SiC keraamilised vaakumpadrunid on tööstusstandardiks:

Vahvlite vedeldamine ja lihvimine (CMP): pakkudes jäiga tuge, mis on vajalik vahvlite õhukendamiseks kuni mikronini ilma servade purustamiseta.

Litograafia (Steppers/Scanners): toimib ülimalt tasase "lavana", mis tagab täpse laserfookuse alla 7 nm sõlmedele.

Metroloogia ja AOI: kõrge eraldusvõimega kontrollimiseks ja defektide kaardistamiseks tuleb tagada, et vahvlid oleksid täiesti tasased.

Vahvlitega lõikamine: tagab stabiilse imemise kiire mehaanilise või laseriga kuubikuteks lõikamise ajal.

Semicorexis mõistame, et vaakumpadrun on ainult nii hea, kui hea on selle pinna terviklikkus. Iga padrun läbib mitmeastmelise kvaliteedikontrolli:

Laserinterferomeetria: kogu läbimõõdu tasasuse kontrollimiseks.

Heeliumi lekke testimine: veenduge, et vaakumkanalid on täiuslikult suletud ja tõhusad.

Puhasruumi puhastamine: töödeldud klassi 100 keskkondades, et tagada null metallilise või orgaanilise saaste puudumine.

Meie insenerimeeskond teeb tihedat koostööd OEM-tööriistade tootjatega, et kohandada pilu mustreid, mõõtmeid ja paigaldusliideseid. Valides Semicorexi, investeerite komponenti, mis vähendab seisakuaega, parandab ülekatte täpsust ja alandab teie kogu omamiskulusid tänu äärmisele vastupidavusele.