Sic -keraamilised paadid

Semicorexi sic-keraamilised paadid on tipptasemel kandjad, mis on spetsiaalselt loodud pooljuhtide vahvlite ohutuks transportimiseks, ladustamiseks ja töötlemiseks kõige nõudlikumas keemilises ja termiliselt äärmuslikus keskkonnas. Pooljuhtide tööstus on kiiresti võtnud vastu uusi jõudlusstandardeid, mis on nõudnud SIC-keraamilisi paate usaldusväärselt, usaldusväärselt ja saastumiseta, saavutada sallimatud ja kriitilised nõudmised tänapäevaste vahvlite valmistamisprotsesside jaoks.

Tugev termiline stabiilsus ja tugevus

SIC -keraamiliste paatide määratlev atribuut on selle väga kõrge termiline stabiilsus. SIC -keraamilised paadid võivad taluda temperatuuri üle 1600 ° C, kaotamata oma kuju või struktuuri agressiivsete termiliste tsükliprotsesside ajal. Ülimalt madala soojuspaisumise koefitsiendi tõttu on SIC-keraamilised paadid moonutuste ja pragunemise suhtes vähem altid, võimaldades jäigates tingimustes käsitsemise ajal tihedat tolerantsi ja üldist vahvli ohutust.

Suur puhtus ja keemiline vastupidavus

SIC-keraamilised paadid valmistatakse ülikõrge puhtusega räni karbiidist. SIC -keraamilised paadid on ka keemilise lagunemise, söövitava ja erodeeriva plasma suhtes väga vastupidavad. SIC -keraamiliste paatide inertne olemus tähendab söövitavate gaaside protsesse, reageerivaid keskkondi, happelised tingimused ei moodustaks paadist saastumist ega midagi lahustuvat, et kahjustada tööprotsessi. SIC-keraamiliste paatide mitterahaline pind ei võimalda osakeste genereerimist ega ioonide leostumist, seega ei ohusta vahvli pinda seadme jõudluse või saagikuse takistavate lisandite abil.

Täppisse tehnika ohutuks ja turvaliseks vahvli käitlemiseks

SIC -keraamilised paadid toodetakse tihedate tolerantside piires, võimaldades neil käsitseda erineva läbimõõtuga vahvleid, sealhulgas 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm ja palju muud. SIC -paatide konstruktsioonikujundus tagab suurepärase tasasuse, paralleelsuse ja ühtlase pesa suuruse, et säilitada vahvli korralik orientatsioon ja kaitsta vahvli servi teisele protsessile või tööriistale ülekandmisel. Kõik SIC -paadid saab tööriistakomplektiga sobivaks või automatiseerimise spetsifikatsioonide vastamiseks kujundada kohandatud mõõtmetega.

Pikk eluaeg ja kulutõhusam

SIC asendab traditsioonilisi materjale (kvarts, alumiiniumoksiid), millel on märkimisväärselt täiustatud mehaaniline tugevus, luumurdude sitkus ja termilise šokikindlusega. See vastupidavuse tase tähendab pikemat eluiga enne "ebaõnnestumist", operatsiooni ajal oluliselt vähem asendamist ja omandiõiguse kogukulusid. SIC -i vastupidavuse jõudluse järjepidevus vähendab aeg -ajaid ja kiirendab pooljuhtide tootmisliinide läbilaskevõimet.

Avatud rakendused pooljuhtprotsessides

SIC-keraamilisi paate kasutatakse laialdaselt esiotsa pooljuhtide protsessides, näiteks:

LPCVD ja PECVD sadestumine

Termiline oksüdatsioon

Ioonide implanteerimine

Lõõmutamine ja levitamine

Vahvli puhastamine ja keemiline töötlemine

SIC -keraamiliste käepidemetel on ühilduvad töötlemisrakendused nii atmosfääri kui ka vaakumprotsesside kambrites, muutes selle ideaalseks valikuks valukodadele ja FAB -dele, kes soovivad minimeerida ja vähendada saastumise riski, suurendades samal ajal tootlikkust.