SIC konsooli aerud

Semicorex SIC konsoolide aerud on suure jõudlusega komponendid, mis on loodud täpselt vahvli käitlemiseks ja vahvli transpordiks pooljuhtide termiliste töötlemisseadmetes (LPCVD, PECVD, oksüdatsioon ja difusiooniahjud). Need konsooli aerud pakuvad vahvlitele platvormi ja vajalikku tuge, mis tagab rabedate vahvlite stabiilse ja usaldusväärse transpordi karmide kõrge temperatuuriga protsesside kaudu (sageli üle 1200 ° C). Konsooli aerud on toodetud kõrge puhtusega räni karbiidist (SIC), mis tagab pooljuhtide valmistamiskeskkonna mehaanilise vastupidavuse, termilise stabiilsuse ja korrosioonivastased omadused.

Ränikarbiid on superjuhi keraamiline materjal, millel on suurepärane soojusjuhtivus, madal soojuspaisumine ja võime toimida usaldusväärselt keemiliselt vaenulikus keskkonnas. Ränikarbiid konsooli aerudes võib aidata vähendada termilist väändumist

 ja liikumine, mis hoiab vahvleid tasasel ja nende nominaalses töötlemisasendis. Vahvli termiline stabiilsus konsooli aerude kontekstis on oluline, et minimeerida osakeste saastumise ja mehaanilise liikumise probleeme, eriti täiustatud sõlmeseadmete tootmisel. Need probleemid võivad põhjustada saagikuse kaotust või kulukat ümbertegemist ja vahvlite asendamist.

SIC konsoolide aerude monoliitne vorm parandab mehaanilist vastupidavust ja termilist ühtlust, kõrvaldades samal ajal liigesed ja nõrgad punktid, mis võivad komposiitide korral tavaliselt eksisteerida. Lisaks on aerude pinnaviimistlus spetsiaalselt kontrollitud ja tavaliselt lihvitakse tahkete osakeste genereerimise minimeerimiseks peaaegu peegelkvaliteediga ja on väga puhta ruumi klassiga nõuetele vastav.

Difusiooni- ja oksüdatsiooniprotsessides, mis hõlmavad hapnikku, auru ja muid reaktiivseid gaase; Tavapärased materjalid võivad aja jooksul sulada või deformeeruda. SIC -i loomupärane keemiline inert omadus tagab, et aerud ei välju ega söö ja sisestab protsessi saastumist ebastabiilsete materjalide kasutamise tõttu, aidates kaasa stabiilsemale protsessile ja usaldusväärsematele tulemustele.  SIC konsoolide aerude struktuurne terviklikkus püsib vaatamata kuumutamise ja jahutuse kiirele tsüklile stabiilne. Seetõttu pakuvad nad pikka operatiivset kasutusaega, millel on tunduvalt vähendatud hooldus või osade vahetus seisakuid.

Lisaks võimaldavad SIC -aerude vähenenud mass ja kerge kaal kiiremat termilist vastust; võimaldades seeläbi kiiremat termilist tõusu ja jahtumisaega, mis aitavad kaasa tootlikkusele ja energiatõhususele, on pooljuhtide tootmise konkurentsimaastikul kõik peamised mõõdikud.

SIC -konsooli aerusid saab tarnida erinevates konfiguratsioonides ja suuruses, mis on kujundatud ja toodetud, et mahutada erinevad ahjude kujundused ja vahvlisuurused vahemikus 100 mm kuni 300 mm ja suurem. OEM-id ja seadmete integraatorid hindavad SIC-aerude järjepidevust ja usaldusväärsust aja jooksul, nii esi- kui ka tagakülgprotsesside juurutamisel.

Semicorex pakub esmaklassilisi SIC -konsoolide aerusid, millel on tihe kontrolli materjali puhtuse, mikrostruktuuri ja mõõtmete tolerantside osas. Meie täiustatud protsessivõimalused koos teadmistega pooljuhtide termilise dünaamika kohta võimaldavad meil toota aerusid nende atribuutidega, mis vastavad stabiilsuse, puhtuse ja vastupidavuse standarditele või ületavad seda. Kui see peab olema õige ja usaldusväärne, on Semicorex koht, kus kvaliteetseid SIC -komponente minna.