SiC konsooliga mõla

Semicorex SiC (ränikarbiidist) konsoolilaba on ülioluline komponent, mida kasutatakse pooljuhtide tootmisprotsessides, eriti difusiooni- või LPCVD-ahjudes (madalsurve keemiline aurustamise-sadestamine) selliste protsesside käigus nagu difusioon ja RTP (kiire termiline töötlemine). See on mõeldud vahvlite toetamiseks ja transportimiseks nende ahjude protsessitorus.

Semicorex SiC konsooli mõla koosneb peamiselt ränikarbiidist, tugevast ja termiliselt stabiilsest materjalist, mis on tuntud oma kõrge temperatuurikindluse ja suurepäraste mehaaniliste omaduste poolest. SiC on valitud selle võime tõttu taluda pooljuhtahjude kõrge temperatuuriga protsessikeskkonnas esinevaid karme tingimusi. SiC konsoollaba konstruktsioon võimaldab sellel ulatuda ahju protsessitorusse, olles samas ühest otsast torust väljas kindlalt ankurdatud. See disain tagab töödeldavatele vahvlitele stabiilsuse ja toe, minimeerides samal ajal häireid ahju sees oleva soojuskeskkonnaga.

SiC konsoolilaba eesmärk on kanda pooljuhtplaate kindlalt protsessitoru sees mitmesuguste kõrge temperatuuriga protsesside ajal, nagu difusioon ja RTP. Selle tugev konstruktsioon tagab, et see talub äärmuslikke temperatuure ja keemilisi keskkondi, mis nende protsesside käigus kokku puutuvad, ilma lagunemise või rikketa. SiC konsoolilabad on loodud ühilduma paljude tööstuses kasutatavate pooljuhtplaatide suuruse ja kujuga. Neid saab sageli kohandada vastavalt ahju konkreetsetele konfiguratsioonidele ja protsessi nõuetele.