SiC paat

Semicorexi SiC paadid on hoolikalt valmistatud kõrge puhtusastmega SiC keraamikast – materjalist, mida tähistatakse võrratu termilise stabiilsuse, erakordse mehaanilise tugevuse ja vankumatu keemilise inertsuse poolest. Need omadused muudavad selle ideaalseks valikuks pooljuhtide valmistamise karmides tingimustes.

SiC-paatidel on võrratu mehaaniline tugevus ja vastupidavus tänu materjali kõvadusele ja erakordsele kulumiskindlusele. See võimaldab neil taluda suure läbilaskevõimega pooljuhtide tootmiskeskkondade nõudlikkust, ilma et nad peaksid järk-järgult kuluma. Erinevalt teistest materjalidest säilitab ränikarbid oma konstruktsiooni terviklikkuse aja jooksul, vähendades märkimisväärselt vajadust sagedaste asendamiste järele ja minimeerides tootmistegevuse seisakuid, mis lõppkokkuvõttes toob kaasa pooljuhtide tootjate märkimisväärse kulude kokkuhoiu.

SiC keemiline inertsus tugevdab veelgi selle sobivust pooljuhtprotsesside jaoks, muutes selle väga vastupidavaks reaktiivsete gaaside ja tavaliselt kasutatavate materjalide (nt kloori ja fluori) keemilisele rünnakule. See tugev takistus tagab, et SiC-paadid ei saasta töötlemise ajal vahvleid, säilitades seeläbi valmistatavate pooljuhtseadmete puhtuse ja kvaliteedi. Protsesside jaoks, mis nõuavad veelgi kõrgemat keemilist vastupidavust, saab SiC Boats katta täiendava SiC kihiga, mis tagab täiendava tõkke keemilise rünnaku vastu ja tõstab paadi pinnaviimistlust, et vähendada tahkete osakeste saastumise ohtu.

Nendes paatides kasutatava ränidioksiidi keraamika kõrge puhtus on kriitilise tähtsusega, kuna pooljuhtide tootmine nõuab minimaalsete lisanditega materjale. Isegi saasteainete jäägid võivad kahjustada vahvlite elektrilisi omadusi ja põhjustada lõppseadmetes defekte. SiC Boats on konstrueeritud ülikõrge puhtusastmega SiC keraamikast, et tagada, et need ei vii protsessikeskkonda lisandeid isegi pooljuhtide valmistamisele tüüpilistes kõrgendatud temperatuurides ja reaktsioonitingimustes. See puhtus tugevdab ränikarbiiniga paatide töökindlust kriitiliste protsessietappide jaoks.

SiC Boatide ühilduvus erinevate pooljuhtseadmetega on ülimalt oluline. SiC mitmekülgsus võimaldab seda täpselt töödelda, et see sobiks erinevat tüüpi pooljuhtahjude ja -reaktorite jaoks vajalike spetsiifiliste mõõtmete ja konfiguratsiooniga, muutes need sobivaks paljudeks rakendusteks alates väikesemahulistest uurimis- ja arendustegevusest kuni suuremahuliste tootmisliinideni. Lisaks aitavad materjali erakordne soojusjuhtivus ja soojuseraldusomadused kaasa tõhusamale temperatuuri reguleerimisele töötlemise ajal, suurendades veelgi pooljuhtseadmete jõudlust ja tootlikkust.