RTA SiC vahvlikandjad

Kiire termiline lõõmutamine on pooljuhtide tootmises laialdaselt kasutatav termilise töötlemise tehnika. Kasutades soojusallikana halogeen-infrapunalampe, soojendab see vahvleid või pooljuhtmaterjale kiiresti temperatuurini 300 ℃ kuni 1200 ℃ ülikiire kuumutuskiirusega, millele järgneb kiire jahutamine. Kiire termiline lõõmutamine võib kõrvaldada jääkpinge ja defektid vahvlite ja pooljuhtmaterjalide sees, parandades materjali kvaliteeti ja jõudlust. RTA SiC vahvlikandjad on RTA protsessis laialdaselt kasutatav asendamatu kandekomponent, mis suudab töötamise ajal stabiilselt toetada vahvleid ja pooljuhtmaterjale ning tagab ühtlase termilise töötlemise efekti.

Semicorex RTA SiC vahvlikandjate eelised

1. Suurepärane mehaaniline tugevus ja kõvadus

Semicorex RTA SiC vahvlikandurid pakuvad suurepärast mehaanilist tugevust ja kõvadust ning taluvad erinevaid mehaanilisi pingeid karmides RTA tingimustes, jäädes samal ajal mõõtmetelt stabiilseks ja vastupidavaks. Suurepärase kõvadusega RTA SiC vahvlikandjate pind on vähem kriimustusohtlik, mis tagab tasase sileda tugipinna, mis hoiab tõhusalt ära kanduri kriimustuste põhjustatud vahvlikahjustused.

2. Erakordne soojusjuhtivus

Semicorex RTA SiC vahvlikanduritel on erakordne soojusjuhtivus, mis võimaldab neil tõhusalt soojust hajutada ja juhtida. Need võimaldavad kiire termilise töötlemise ajal tagada täpse temperatuuri reguleerimise, mis vähendab oluliselt vahvlite termiliste kahjustuste ohtu ning parandab lõõmutamisprotsessi ühtlust ja järjepidevust.

3. Silmapaistev termiline stabiilsus

Ränikarbiidi sulamistemperatuur on umbes 2700 °C ja see säilitab suurepärase stabiilsuse pidevatel töötemperatuuridel 1350–1600 °C. See annab SemicorexiRTA SiC vahvlikandjadsuurepärane termiline stabiilsus kõrgel temperatuuril RTA töötingimustes. Lisaks saavad Semicorex RTA SiC vahvlikandjad oma madala soojuspaisumisteguriga vältida pragunemist või kahjustusi, mis on põhjustatud ebaühtlasest soojuspaisumisest ja kokkutõmbumisest kiirete kuumutamis- ja jahutustsüklite ajal.

4. Suurepärane madala saastesisaldusega jõudlus

Valmistatud hoolikalt valitud kõrge puhtusastmega materjalistränikarbiid, Semicorex RTA SiC vahvlikanduritel on madal lisandite sisaldus. Tänu oma märkimisväärsele keemilisele vastupidavusele on Semicorex RTA SiC vahvlikandurid võimelised vältima protsessigaaside korrosiooni kiirel termilisel lõõmutamisel, minimeerides seeläbi reagentidest põhjustatud vahvlite saastumist ja täites pooljuhtide tootmisprotsesside rangeid puhtusnõudeid.