Protsessitoru difusioonahjude jaoks

Difusioonahjude Semicorexi protsessitoru on tavaliselt valmistatud kõrge puhtusastmega SiC CVD SiC kattega. Need materjalid on valitud nende suurepärase termilise stabiilsuse ja vastupidavuse tõttu söövitavatele gaasidele ja kõrgetele temperatuuridele.

Difusioonahjude Semicorexi protsessitoru on silindrikujuline, suletud ja avatud otsaga. See sisestatakse difusiooniahju, moodustades suletud kambri, kus toimub difusiooniprotsess. Toru on hoolikalt kavandatud, et vältida gaaside lekkimist ja säilitada ahjus kontrollitud atmosfäär.

difusioonahjude protsessitoru mängib pooljuhtseadmete valmistamisel otsustavat rolli. See tagab difusiooniprotsesside jaoks kontrollitud keskkonna, tagades ühtsed dopinguprofiilid ja täpse kontrolli protsessi parameetrite üle. Kõrge puhtusastmega materjalide kasutamine ja hoolikad disainikaalutlused aitavad säilitada protsessitoru terviklikkust ja tagada kvaliteetsete pooljuhtplaatide tootmise.