Poorne sic vaakum Chuck

Semicorex Poor SIC vaakum Chuck tähistab käitlemislahendust, mille eesmärk on saavutada vahvlite täpne ja stabiilne positsioneerimine pooljuhtide töötlemise kõigil etappidel. Sellel vaakumkattel on suurepärane haarde vahvli käitlemise ja substraadi joondamise rakenduste jaoks, suurendades sellega nii usaldusväärsust kui ka jõudlust. Põhimaterjali valikud - SUS430, alumiiniumsulam 6061, tihe alumiiniumoksiidi keraamika, graniit ja räni karbiidi keraamika - kasutavad kasutaja paindlikkust, et valida optimaalne materjal vastavalt soojusliku jõudluse, mehaaniliste omaduste või kaalu üksikisiku nõuetele.

Parem materjalivalik: poorse SIC vaakumpuhastuse põhja saab erinevatele vajadustele vastava materjaliga muuta:

• Sus430: odav variant, mis peab vastu rooste hästi tavaliseks kasutamiseks.
• Alumiiniumsulam 6061: annab segu tugevusest, kergest ja suurepärasest töötasemest, muutes selle regulaarseks vahvli käitlemiseks.
• Tihe alumiiniumoksiidi keraamika (99% Al2O3): tagab suurepärase termilise stabiilsuse ja kõrge kõvaduse, mis sobib kõrge temperatuuri või täppisrakenduste jaoks.
• Graniit: oma erakordse tasasuse ja stabiilsuse poolest tuntud graniit pakub madalat soojuspaisumist, mis sobib ideaalselt suurt täpsust vajavate rakenduste jaoks.
• Räni karbiidi keraamika: tuntud oma kõrge soojusjuhtivuse, keemilise vastupidavuse ja vastupidavuse poolest on SIC ideaalne suure jõudlusega keskkondades, kus ilmneb äärmuslikud tingimused.

Ülesandlikkus: poorne SIC vaakumpuks tagab parema tasasuse, täpsusega varieerub kasutatud materjali põhjal. Materjali edetabel kõrgeimast kuni madalaima tasapinnalise täpsuseni on:

Graniit- ja ränikarbiidi keraamika: mõlemad materjalid pakuvad ülitäpsust, tagades vahvli stabiilsuse ka kõige nõudlikumas töötlemiskeskkonnas.

Tihe alumiiniumoksiid (99% Al2O3): graniidi ja siciga võrreldes pisut vähem tasasus, kuid pakub siiski head täpsust üldiste pooljuhtide rakenduste jaoks.

Alumiiniumsulam 6061 ja SUS430: tagavad pisut madalama tasapinnalise täpsuse, kuid on siiski väga usaldusväärsed vahvli käitlemiseks vähem nõudlikes rakendustes.

Konkreetsete vajaduste kaalude variatsioonid: poorne SIC vaakumpuhastus võimaldab kasutajatel valida mitmesuguste materjalide valikute hulgast, mis põhineb kaalunõuetel:

Alumiiniumsulam 6061: kergem materjali valik, pakkudes hõlpsat käitlemist ja transporti.

Graniit: raskem alusmaterjal, mis tagab kõrge stabiilsuse ja minimeerib töötlemise ajal vibratsiooni.

Räni karbiidi keraamika: sellel on mõõdukas kaal, mis pakub vastupidavuse ja soojusjuhtivuse tasakaalu.

Tihe alumiiniumoksiidi keraamika: kõige raskem variant, mis sobib ideaalselt rakenduste jaoks, kus prioriteediks on stabiilsus ja kõrge soojusresistentsus.

Kõrge vastupidavus ja jõudlus: poorne SIC-vaakum Chuck on konstrueeritud pikaajaliseks jõudluseks, mis on võimeline taluma äärmuslikke temperatuurimuutusi ja pooljuhtide töötlemisega seotud kulumist. Räni karbiidi keraamiline variant on eriti kasulik kõrge temperatuuri ja keemiliselt agressiivse keskkonna jaoks, kuna see on erakordne vastupidavus soojuspaisumisele ja korrosioonile.

Kulutõhusad lahendused: mitme materiaalse valiku korral pakub poorne SIC vaakum Chuck kulutõhusa lahenduse, mida saab kohandada erinevatele eelarvetele ja rakendusnõuetele. Üldiste rakenduste jaoks on alumiiniumsulam ja SUS430 kulutõhusad, pakkudes siiski rahuldavat jõudlust. Nõudlikumate keskkondade jaoks pakuvad graniidi- või sic -keraamilised võimalused paremat jõudlust ja vastupidavust.

Rakendused:

Poorset SIC -vaakumpüüri kasutatakse peamiselt pooljuhtide tööstuses vahvli käitlemiseks, sealhulgas sellistes protsessides nagu::

• Vahvli kuubikinnitus ja lõikamine
• Fotogalvaaniline tootmine
• MOCVD ja CVD epitaksia kasv
• Ioonide implanteerimine
• Oksüdatsiooni- ja difusiooniprotsessid

Semicorexi poorne sic vaakum Chuck paistab silma selle täpsuse, mitmekülgsuse ja vastupidavuse poolest. Ükskõik, kas vajate kergeid lahendusi üldiseks käitlemiseks või täiustatud materjalide jaoks suure jõudlusega pooljuhtide protsesside jaoks, pakub meie toode laia valikut võimalusi teie vajaduste rahuldamiseks. Kvaliteetsete kvaliteedistandarditega toodetud meie vaakumkatted tagavad mitmesuguste rakenduste jaoks usaldusväärse ja tõhusa vahvli käitlemise, pakkudes järjepidevaid tulemusi nii standardsetes kui ka spetsiaalsetes protsessides.

Tööstusharude jaoks, kus vahvli stabiilsus ja täpne käitlemine on ülioluline, pakub poorne sic vaakum Chuck ideaalset lahendust. Materjalide, suure täpsuse ja suurepärase vastupidavuse valimisel on see ideaalne valik mitmete pooljuhtide protsesside jaoks.