Poorne sic chuck

Semicorex Poorne sic Chuck on keraamiline osa, mis on täpsusega kokku pandud vahvlisubstraatide ohutuks ja tõhusaks käitlemiseks pooljuhtide rakenduste jaoks selliste protsesside etappide kaudu nagu kontrolli, testimine ja litograafia. Chuck on valmistatud mikropoorse räni karbiidi keraamikast (sic). SIC-l on mehaaniline tugevus, keemilised vastupidavus ja termilised stabiilsuse omadused, mis on vajalikud tipptasemel pooljuhtide tootmiskeskkonnas.

Poorse sic Chucki oluline omadus on selle ainulaadne mikrostruktuur, mille poorsus on 35–40%. Kui padruni poorsusega on tihedalt kontrollitud, võimaldab pealmine disain vaakum-imemist ühtlaselt jaotada kogu padruni, tekitades järjepidevat stabiilset ja kontaktilist tuge tüüpiliselt delikaatsete vahvlite substraatide jaoks: räni või GAN ning muud ühendkoodid.  Vaakum -imemisrežiim väldib nii osakeste saastumist kui ka mehaanilisi kahjustusi, säilitades sellega protsessi ajal vahvli terviklikkuse.

Chucki keraamiline keha on peamiselt kõrge puhtusega sic, teiste keraamikaga, näiteks alumiiniumoksiidiga (Al2O3), mida potentsiaalselt kasutatakse piiratud arvu funktsionaalsete kihtide jaoks sõltuvalt rakendusest. Materjali uurimine ja arendamine võimaldavad pooride suurust ja jaotust hallata õhuvoolu ja hoidmisjõu kavandamiseks sõltuvalt vahvli suurusest ja protsessitingimustest. Kui on oluline kontrollida vaakumit õhematel vahvlitel, lisatakse pooride suurus väiksem. Vajaduse korral kasutatakse kiirema voolukiiruse korral suuremat pooride suurust.

Poorsed sic -padrunitel on muutuva pooride suuruse, keraamiliste kompositsioonide ja tulistamistingimuste tagajärjel värvivariatsioon. SIC-padrunid kipuvad olema mustad või tumehallid, kuna räni karbiidi värv on kas hall või must, kuid suure alumiiniumoksiidi sisaldusega padrunid on tavaliselt valge värvi. Värvi erinevused ei mõjuta toote jõudlust ja esindavad ainult konstrueeritud omadusi, mis loodi konkreetsete rakenduste jaoks konkreetsete klientide vajaduste järgimiseks.

Tipptasemel vahvli töötlemise tööriistades on kaks kõige olulisemat omadust soojusstabiilsus ja keemiline inerdus. Ränikarbiid tagab suurepärase vastupidavuse korrosioongaaside ja termilise tsükli suhtes. Poorne sic Chuck tegutseb edukalt vaakumkambrites ja plasma söövitusvahendites ning see toimib jätkuvalt hästi muutuvate temperatuuridega. Nende võime säilitada CHUCKi dimmensiooniline stabiilsus tagab, et vahvel püsib samas asukohas, ehkki täpsusnõuded võivad olla alam mikronist madalam, sõltuvalt protsessist, mis aitab kaasa mõõtmete stabiliseerumisele, tagab täpsuse.

Semicorexi poorsed SIC -padrukid kasutatakse volitatud moodustamis- ja paagutamisprotseduuride abil, mis pakuvad ühtlast poorsust, suurt paindetugevust ja madala soojuspaisumise. Iga padrunit kontrollitakse pooride struktuuri, tasasuse ja vaakumi jõudluse osas, et tagada usaldusväärne ja korratav toode. Samuti on saadaval kohandatud disainilahendused, et mahutada konkreetsete vahvli suurusi ja süsteemi integreerimisnõudeid, näiteks tagaküljega gaasi voolukanalid või kinnitusfunktsioonid.

Kokkuvõtteks võib öelda, et poorne SIC Chuck on kõrge usaldusväärsusega substraadi tugisüsteem, mis on hoolikalt loodud töötama koos vahvli täpse töötlemise nõuetega. Kõrge vaakumi hoidmisvõime, kohandatava pooride struktuuri ja silmapaistva materjali stabiilsusega on see tänapäeva pooljuhtide valmistamisliinides hädavajalik toode.