Plasma töötlemise fookusrõngas

Semicorex Plasma töötlemise fookusrõngas on spetsiaalselt loodud vastama plasma söövitamise töötlemise kõrgetele nõudmistele pooljuhtide tööstuses. Meie täiustatud, kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga kaetud komponendid on ehitatud taluma äärmuslikke keskkondi ja sobivad kasutamiseks erinevates rakendustes, sealhulgas ränikarbiidikihtides ja epitaksilistes pooljuhtides.

Saada päring

Tootekirjeldus

Meie plasmatöötluse fookusrõngas on väga stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks, muutes need ideaalseks valikuks plasmasöövituskambrites (või kuivsöövituskambrites). Meie teravustamisrõngad või servarõngad, mis on kavandatud parandama söövituse ühtlust ümber vahvli serva või perimeetri, on loodud saastumist ja plaanivälist hooldust minimeerima.

Meie SiC Coating on tihe, kulumiskindel ränikarbiidkate, millel on kõrged korrosiooni- ja kuumakindlusomadused ning suurepärane soojusjuhtivus. Me kanname SiC õhukeste kihtidena grafiidile keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi abil. See tagab, et meie SiC fookusrõngad on suurepärase kvaliteediga ja vastupidavad, muutes need usaldusväärseks valikuks teie plasmasöövituse töötlemise vajaduste jaoks.

Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie plasmatöötluse fookusrõnga kohta.

Plasma töötlemise fookusrõnga parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

Plasma töötlemise fookusrõnga omadused

- CVD ränikarbiidkatted kasutusea pikendamiseks.

- Suure jõudlusega puhastatud jäigast süsinikust valmistatud soojusisolatsioon.

- Süsinik/süsinik komposiitküttekeha ja plaat. - Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.

- Kõrge puhtusastmega grafiit ja SiC kate, mis tagab aukude vastupidavuse ja pikema eluea