Plasma töötlemise fookusrõngas

Semicorex Plasma töötlemise fookusrõngas on spetsiaalselt loodud vastama plasma söövitamise töötlemise kõrgetele nõudmistele pooljuhtide tööstuses. Meie täiustatud, kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga kaetud komponendid on loodud taluma äärmuslikke keskkondi ja sobivad kasutamiseks erinevates rakendustes, sealhulgas ränikarbiidikihtides ja epitaksilistes pooljuhtides.

Saada päring

Tootekirjeldus

Meie plasmatöötluse fookusrõngas on väga stabiilne RTA, RTP või tugeva keemilise puhastuse jaoks, muutes need ideaalseks valikuks plasmasöövituskambrites (või kuivsöövituskambrites). Meie teravustamisrõngad või servarõngad on loodud selleks, et parandada söövituse ühtlust ümber vahvli serva või perimeetri, et minimeerida saastumist ja plaanivälist hooldust.

Meie SiC Coating on tihe, kulumiskindel ränikarbiidkate, millel on kõrged korrosiooni- ja kuumakindlusomadused ning suurepärane soojusjuhtivus. Me kanname SiC õhukeste kihtidena grafiidile keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi abil. See tagab, et meie SiC fookusrõngad on suurepärase kvaliteediga ja vastupidavad, muutes need usaldusväärseks valikuks teie plasma söövitamise vajaduste jaoks.

Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie plasmatöötluse fookusrõnga kohta.

Plasma töötlemise fookusrõnga parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC Î² faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	Î¼m	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusmahtuvus	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4p bend, 1300â)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

Plasma töötlemise fookusrõnga omadused

- CVD ränikarbiidkatted kasutusea pikendamiseks.

- Suure jõudlusega puhastatud jäigast süsinikust valmistatud soojusisolatsioon.

- Süsinik/süsinik komposiitküttekeha ja plaat. - Nii grafiidist aluspinnal kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.

- Kõrge puhtusastmega grafiit ja SiC kate, mis tagab aukude vastupidavuse ja pikema eluea