Homoepitaksia ja heteroepitaksia mängivad materjaliteaduses keskset rolli. Homoepitaksia hõlmab kristalse kihi kasvatamist samast materjalist substraadile, tagades täiusliku võre sobitamise tõttu minimaalsed defektid. Seevastu heteroepitaksia kasvatab erinevast materjalist substraadil kristalse kihi......
Loe rohkem300 mm läbimõõduga räni poleerimisvahvlite jaoks IC-kiibi ahela protsesside kõrgekvaliteediliste nõuete saavutamiseks, mille joone laius on alla 0,13 μm kuni 28 nm, on oluline minimeerida vahvli pinnal olevate lisandite, näiteks metalliioonide, põhjustatud saastumist.
Loe rohkem