Tutvustame alumiiniumoksiidi materjali

Alumiiniumoksiid keraamikaKomponentidel on suurepärased omadused, nagu kõrge kõvadus, kõrge mehaaniline tugevus, ülivõimsuskindlus, kõrge temperatuurikindlus, kõrge vastupidavus ja hea elektri isolatsiooni jõudlus. Nad suudavad täita pooljuhtide tootmise keerulisi jõudlusnõudeid spetsiaalsetes keskkondades nagu vaakum ja kõrge temperatuur. Nad mängivad asendamatut ja olulist rolli pooljuhtide tootmisliinides. Nende rakendused hõlmavad peaaegu kõiki pooljuhtide tootmisseadmeid ja on pooljuhtide tootmisseadmete põhikomponendid. Pooljuhtide tööstuse pideva arenguga muutub silmatorkavamaks alumiiniumoksiidi keraamiliste komponentide tähtsus.

Kui kiibi funktsiooni suurus väheneb, on pooljuhtide seadmetel komponentide suhtes rangemad nõuded ning selle tihedus, ühtlus, korrosioonikindlus jne peavad olema kõrgemad. Viimastel aastatel on kodumaised ja välismaised teadlased välja töötanud mitmesuguseid uusi protsesse, et parandada alumiiniumoksiidi keraamiliste materjalide paagutamistingimusi, nii et nad suudaksid saavutada materjalide kiire tihenemise madalamates paagutustemperatuurides, näiteks iseenesestmõistetav kõrgtervislik paagutamine, vilkuv, külma paagutamine ja varjav surve. Nende hulgas on külm paagutamine pulbrile mööduva lahusti lisamine ja suur rõhk (350 ~ 500MPa), et suurendada osakeste vahelist ümberkorraldust ja difusiooni, nii et keraamilist pulbrit saab paagutada ja tihendada madalamal temperatuuril (120 ~ 300 ℃) ja lühemat aega.

Praegu on globaalne integreeritud vooluahela tootmisprotsess arenenud 3-nanomeetri tasemel arenenumaks. Pooljuhtide seadmeid ja pooljuhtide seadmeid tuleb pidevalt välja töötada ja täiustada ning täiustada tuleb täiustada, et rahuldada järgnevaid tootmisvajadusi. Kui pooljuhtide seadmed on ajakohastatud, muutuvad komponentide uute seadmete konkreetsed nõuded sünkroonselt. Pooljuhtimistehnoloogia väljatöötamisega muutuvad alumiiniumoksiidi keraamiliste komponentide jõudlusnõuded üha kõrgemale, sealhulgas suurem kulumiskindlus, kõrge temperatuuriga vastupidavus ja parem elektriline isolatsioon. Tööstusharu suundumused kipuvad tekkima suuremat puhtust, peenemat struktuuri alumiiniumoksiidi pulbrimaterjale ja võtavad kasutusele täiustatud ettevalmistustehnoloogiad.

Alumiiniumoksiidi keraamikaon pooljuhtide väljal kasutamisel väga kõrge puhtusevajadus, mis on üldiselt suurem kui 99,5%. Pooljuhtide väljal on alumiiniumoksiidi keraamilised osad pooljuhtide seadmete võtmeosi. Enamikku neist kasutatakse kambrites vahvlile lähemal. Pooljuhtseadmetes klassifitseeritakse need kasutamise järgi ja jagunevad peamiselt rõngakujulisteks silindriteks, õhuvoolujuhiks, koormusega kandev fikseeritud, käsitsi haaratud tihendid, moodulid jne.

Söövitusprotsessis valitakse vahvli saastumise vähendamiseks plasma söövitumise ajal kõrge puhtusega alumiiniumoksiidi katteid või tugeva korrosioonikindlusega alumiiniumoksiidi keraamikat, mis on söövituskambri kaitsematerjalid ja kambrini vooder.

Plasma puhastusprotsessis kasutatakse söövitavaid gaase, mis sisaldavad väga reaktiivseid halogeenielemente nagu fluori ja kloori. Gaasi otsik on tavaliselt valmistatud alumiiniumoksiidi keraamikast, millel on vajalik kõrge plasmaresistentsus, dielektriline tugevus ja tugev korrosioonikindlus protsessigaaside ja kõrvalsaaduste suhtes. Samal ajal kasutatakse gaasi voolu täpseks juhtimiseks sisemist täppisvaugu struktuuri.

Pooljuhtide tootmisprotsessis võib vahvel läbi viia kõrge temperatuuriga töötlemise, näiteks söövitus, ioonide implanteerimine jne. Vahvli ülekande kandjana võib alumiiniumoksiidi vahvli kandja tagada vahvli stabiilsuse ja ohutuse ülekandeprotsessi ajal. Alumiiniumoksiidi vahvli kandjal on hea soojusjuhtivus ning see võib vahvli tekitatud soojuse tõhusalt hajutada ja eksportida, kaitstes seeläbi vahvli termiliste kahjustuste eest.

Vahvlite käitlemisel kasutatakse alumiiniumoksiidi keraamikast valmistatud keraamilist robotkäet. See paigaldatakse vahvli käitlemisrobotile, mis on samaväärne roboti käega. See vastutab vahvli viimise eest määratud kohta ja selle pind on otseses kontaktis vahvliga. Kuna vahvlid on teiste osakeste saastumisele äärmiselt vastuvõtlikud, viiakse need tavaliselt läbi vaakumkeskkonnas. Selles keskkonnas on enamiku materjalide robotrelvadel üldiselt keeruline tööd lõpule viia. Robotrelvade valmistamiseks kasutatavad materjalid peavad olema kõrge temperatuuri, kulumiskindla ja kõrge karedusega vastupidavad. Töötingimuste nõuete tõttu on need tavaliselt valmistatud äärmiselt kõrge puhtusega alumiiniumoksiidi keraamilistest materjalidest ning tagatakse keraamiliste osade täpsus ja pinna karedus.

Semicorex pakub kvaliteetsetAlumiiniumoksiid keraamilised osadpooljuhtides, sealhulgas SIC katted ja TAC -katted. Kui teil on päringuid või kui vajate lisateavet, ärge kartke meiega ühendust võtta.

Kontakti telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com