Pooljuhtide keraamilised osad

Pooljuhtide keraamilised osad kuuluvad täiustatud keraamikasse ja on pooljuhtide tootmisprotsessi hädavajalik osa. Valmistamiseks mõeldud toorained on tavaliselt suure puhkega, ülikerge anorgaanilised materjalid, näiteks alumiiniumoksiid, räni karbiidi, alumiiniumnitriidi, räni nitriid, yttriumoksiid, tsirkooniumoksiid jne.

Alumiiniumoksiid

Seda kasutatakse laialdaselt ja toote jõudlus varieerub vastavalt puhtusele. 95% puhtus on helekollane ja 99% puhtus on lumivalge. Sellel on suurepärane jäikus, tugevus, kulumiskindlus, kõrge temperatuurikindlus ja korrosioonikindlus ning seda saab kasutada enamiku pooljuhtide keraamiliste osade, näiteks keraamiliste dinblede, keraamiliste käte jms valmistamiseks, et valmistada valmistamiseks, näiteks keraamilised osad, näiteks keraamilised osad, nagu näiteks

Ränikarbiid

See on must, kõrge soojusjuhtivusega, kõrge tugevus ja kõvadus, kerge kaal, hea šokikindlus ning seda kasutatakse sageli vaakumrelvade ja vaakumkuppide valmistamiseks.

Alumiiniumnitriid

Sellel on kõrge soojusjuhtivus, soojuspaisumistegur, mis vastab räni, madala dielektrilise konstandi ja dielektrilise kaduga ning mida saab kasutada soojuse hajumise substraatide, keraamiliste pihustide jms valmistamiseks jne.

Räni nitriid

Kõrge sulamistemperatuur, ülikõrge kõvadus, kõrge keemiline inerts, madal soojuspaisumiskoefitsient, kõrge soojusjuhtivus, hea soojusresistentsus, kõrge löögikindlus ja tugevus alla 1200 ℃, mida sageli kasutatakse keraamiliste substraatide, keraamiliste tuubide jms valmistamiseks.

Yttriumoksiid

Kõrge sulamistemperatuur, hea keemiline ja fotokeemiline stabiilsus, kõrge soojusjuhtivus, hea valguse läbilaskvus, mis on sageli koos alumiiniumoksiidiga, et valmistada keraamilisi akendeid.

Tsirkooniumoksiid

Kõrge mehaaniline tugevus, kõrge temperatuuriga vastupidavus, happe- ja leelise takistus, hea isolatsioon, vastavalt erinevale sisaldusele võib olla keraamilistest toodetest erinevatel eesmärkidel, näiteks integreeritud vooluahela substraadid jne.

Osade tüübid:

Erinevate funktsioonidega pooljuhtide keraamilisi osi kasutatakse laialdaselt erinevat tüüpi pooljuhtide võtmevarustuses, sealhulgas järgmised: hõlmavad peamiselt järgmised:

Pooljuhtide keraamiline käsi

Mängib vahvlite transportimisel oma rolli pooljuhtide seadmes ja peab töötama vaakumpuhas keskkonnas. Tavaliselt valmistatakse alumiiniumoksiidi suure puhtusarjaga alumiiniumoksiidi või räni karbiidiga kuluefektiivne ja seda kasutatakse rohkem.

Keraamiline substraat

Rakendatakse erinevates elektroonilistes pakendiväljades, näiteks elektrilise elektroonikaseadmetes, laserites jne, ja see valmistatakse sageli selliste materjalidega nagu alumiiniumoksiid ja räni nitriid.

Keraamiline otsik

HDP-CVD-s mõjutab selle kvaliteet reaktsioongaasi puhtust ja voolukiirust. Alumiiniumnitriidi keraamika sobivad nende suurepärase jõudluse tõttu paremini täiustatud protsessivarustuseks.

Keraamiline aken

See on pooljuhtide söövitaja põhikomponent. Seda saab vaakumiga pitseerida, mõjutamata plasma tungimist. Tavaliselt on see valmistatud kõrge puhtusega alumiiniumoksiidist ja yttriumoksiidist.

Keraamiline kamber kate

See on õhukese kile sadestusseadmete põhikomponent, mis on ülioluline, et tagada vahvli kvaliteet ja reaktsioonikambri tihendamine.

Keraamiline vaakum Chuck

Seda kasutatakse räni vahvli paigutamiseks ja kinnitamiseks. See on poorne keraamika, mis on valmistatud kahest keraamilisest materjalist.

Ettevalmistusprotsess:

"Meisterdamise" pooljuhtide keraamiliste osade ettevalmistusprotsess on keeruline, sealhulgas peamiselt järgmised sammud:

Pulbri ettevalmistamine

Tooraineid tuleb ümber töödelda ja nõuetele vastav toores pulber saadakse partiide, mehaanilise kuuli jahvatamise, pihustus kuivatamise ja muude protsesside kaudu.

Pulbervormimine

Pulbri keraamiliseks roheliseks kehaks muutmiseks kasutatakse tavaliselt kuiva pressimist, isostaatilist pressimist, lindi valamist, sissepritsevormi, geeli sissepritsevormi ja muid meetodeid.

Kõrge temperatuur paagutamine

Keraamiline roheline keha muudetakse tihedaks keedetud kehaks normaalse rõhu, vaakumi paagutamise, atmosfääri paagutamise ja muude meetodite kaudu.

Täppismahhanimine

Vajaliku suuruse ja täpsuse saavutamiseks töödeldakse paagutatud keraamilise keedetud keha CNC -treipinkide, lihvijate jms abil.

Kvaliteedikontroll

Toote kvaliteedi tagamiseks testitakse keraamiliste osade välimust, suurust, poorsust, karedust ja muid omadusi.

Pinnatöötlus

Kvaliteedikontrolli läbivate toodete pind puhastatakse ja erivajaduste jaoks on vaja täiendavat pinnatöötlust, näiteks kaare pihustamine, plasmapihustamine jne.

Semicorex pakub kvaliteetsetkeraamilised osadpooljuht. Kui teil on päringuid või kui vajate lisateavet, ärge kartke meiega ühendust võtta.

Kontakti telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com