Keraamilised küttekehad

Pooljuhtide tootmise esiotsa protsessis (FEOL)vahvltuleb allutada mitmesugustele protsesside töötlemisele, eriti vahvlile tuleb kuumutada teatud temperatuurini ja on rangeid nõudeid, kuna temperatuuri ühtlus mõjutab väga olulist mõju toote saagikusele; Samal ajal peavad pooljuhtide seadmed töötama vaakumi, plasma ja keemiliste gaaside juuresolekul, mis nõuab keraamiliste kütteseadmete kasutamist.Keraamilised küttekehadon pooljuhtide õhukese kilede sadestamise seadmete olulised komponendid. Neid kasutatakse protsessikambris ja pöörduvad vahvliga otse vahvliga ja võimaldavad vahvlil saada stabiilset ja ühtlast protsessi temperatuuri ning reageerida vahvli pinnale suure täpsusega, et tekitada õhukesi kileid.

Kuna keraamiliste küttekehade poolt kasutatud õhukeste kilede sadestusseadmed hõlmavad kõrgeid temperatuure, kasutatakse tavaliselt keraamilisi materjale peamiselt alumiiniumnitriidil (ALN). Kuna alumiiniumnitriidil on elektriline isolatsioon ja suurepärane soojusjuhtivus; Lisaks on selle soojuspaisumistegur lähedal räni ja sellel on suurepärane plasmatakistus, see sobib väga sobivaks pooljuhtide seadme komponendina.

Elektrostaatilisi padruneid (ESC) kasutatakse peamiselt söövitusseadmetes, peamiselt alumiiniumoksiidides (Al2O3). Kuna elektrostaatiline paks ise sisaldab ka kütteseadet, võttes näitena kuiva söövitamist, on vaja vahvlit kontrollida konkreetsel temperatuuril vahemikus -70 ℃ ~ 100 ℃, et säilitada teatud söövitusomadus. Seetõttu tuleb vahvli kuumutada või hajutada elektrostaatilise padruni poolt, et vahvli temperatuuri täpselt kontrollida. Lisaks vahvli pinna ühtluse tagamiseks peab elektrostaatiline padrun sageli suurendama temperatuurikontrolli tsooni, et kontrollida iga temperatuuri kontrollimistsooni temperatuuri, et protsessi saagikust parandada. Muidugi on tehnoloogia arendamise korral hakanud hägustuma traditsiooniliste keraamiliste kütteseadmete ja elektrostaatiliste pakkide vahel. Mõnel keraamilisel küttekehal on kõrgtemperatuuriliste kuumutamise ja elektrostaatilise adsorptsiooni kahesugused funktsioonid.

Keraamiline küttekeha sisaldab keraamilist alust, mis kannab vahvlit, ja silindrilist tugikeha, mis toetab seda seljal. Keraamilise aluse sees või pinnal, lisaks takistuselemendile (küttekiht) kuumutamiseks on olemas ka raadiosageduse elektrood (raadiosageduslik kiht). Kiire kuumutamise ja jahutamise saavutamiseks peaks keraamilise aluse paksus olema õhuke, kuid liiga õhuke vähendab ka jäikust. Küttekeha tugikeha on tavaliselt valmistatud materjalist, mille soojuspaisumistegur on sarnane alusega, nii et tugiorgan on sageli valmistatud ka alumiiniumnitriidist. Küttekeha võtab põhjas kasutusele võlli (võlli) ühekordse struktuuri, mis suudab kaitsta terminalid ja juhtmed plasma ja söövitavate keemiliste gaaside mõju eest. Tugikehas on soojusjuhtivuse gaasi sisse- ja väljalaskeava toru, mis tagab küttekeha ühtlase temperatuuri. Alus ja tugiorgan on keemiliselt seotud sidekihiga.

Semicorex pakub kvaliteetsetkeraamilised küttekehad. Kui teil on päringuid või kui vajate lisateavet, ärge kartke meiega ühendust võtta.

Kontakti telefon # +86-13567891907

E -post: sales@semicorex.com