MOCVD sisselaskerõngad

Semicorex on ränikarbiidiga kaetud grafiidi suuremahuline tootja ja tarnija Hiinas. Meie MOCVD sisselaskerõngastel on hea hinnaeelis ja need katavad paljusid Euroopa ja Ameerika turge. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorex tarnib sadestamisel ja vahvlite töötlemisel kasutatavaid MOCVD sisselaskerõngaid, mis on tõesti stabiilsed RTA, RTP või karmi keemilise puhastuse jaoks. Meie MOCVD sisselaskerõngastel on kõrge puhtusastmega ränikarbiidiga (SiC) kaetud grafiitkonstruktsioon, mis tagab suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse, mis tagab ühtlase epikihi paksuse ja vastupidavuse ning vastupidava keemilise vastupidavuse. Peen SiC-kristallkate tagab puhta ja sileda pinna, mis on käsitsemisel kriitilise tähtsusega, kuna puutumatud vahvlid puutuvad susseptoriga kokku paljudes kohtades kogu oma piirkonnas.

Semicorexis keskendume kvaliteetsete ja kulutõhusate MOCVD sisselaskerõngaste pakkumisele, peame esmatähtsaks klientide rahulolu ja pakume kulutõhusaid lahendusi. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks, pakkudes kvaliteetseid tooteid ja erakordset klienditeenindust.

MOCVD sisselaskerõngaste parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300