Mikropoor sic chuck

Semicorexi mikropoor SIC Chuck on tipptasemel vaakum Chuck vahvliks, mis on mõeldud vahvlite täpse käitlemiseks pooljuhtide tootmisrakendustes. See toimib olulise osana vahvli töötlemise erinevate etappide valimise, hoidmise ja WAFT transpordi osas, mis hõlmab puhastamist, söövitamist, ladestumist ja litograafiat. See vahvli Chuck tagab suurepärase haarde ja stabiilsuse, mille tulemusel hoitakse vahvlit keerukate operatsioonide ajal.

Semicorexi mikropoorses sic -Chuckis on mikropoor pinnastruktuur; See on valmistatud kõrge kvaliteediga räni karbiidist (SIC) ja see tagab suurepärase termilise stabiilsuse, keemilise vastupidavuse ja pikaajalise vastupidavuse. See võimaldab ühtlast imemisjõudu kogu vahvli pinnal, minimeerides vahvli kahjustusi, tagades samal ajal usaldusväärse käitlemise kogu töötlemistsükli vältel. Pakutavate põhimaterjalide hulka kuuluvad SUS430 roostevaba teras, alumiiniumsulam 6061, tihe alumiiniumoksiidi keraamika, graniit ja räni karbiidi keraamika.

Funktsioonid ja eelised

Mikropoorne pinnastruktuur: SIC Chuck on konstrueeritud mikropoorse pinnaga, suurendades vaakumi imendumise efektiivsust. See tagab, et isegi delikaatseid vahvleid hoitakse kindlalt paigal, põhjustamata moonutusi ega kahjustusi.

Materjali mitmekülgsus: Chucki alusmaterjal on kohandatav vastavalt konkreetsetele protsessivajadustele:

• Sus430 roostevaba teras: pakub head korrosioonikindlust taskukohase hinnaga, mis sobib ideaalselt standardsete rakenduste jaoks.
• Alumiiniumsulam 6061: kerge soojusjuhtivusega kerge, pakkudes suurepärast stabiilsust vajavate rakenduste jaoks suurepärast soojuse hajumist.
• Tihe alumiiniumoksiidi keraamika (99% Al2O3): pakub erakordset elektriisolatsiooni ja kõrge temperatuuri vastupidavust, mis sobib kõrgemate rakenduste jaoks pooljuhtide tootmisel.
• Graniit: silmapaistvate mehaaniliste omaduste poolest tuntud graniit pakub suurepärast vibratsiooni summutamist, muutes selle ideaalseks ülitäpseks vahvli käitlemiseks, kui mehaaniline stabiilsus on hädavajalik.
• Räni karbiidi keraamika: ülim valik kõrge soojusjuhtivuse ja resistentsuse soojusšoki suhtes, pakkudes pikaajalist jõudlust nõudlikes pooljuhtkeskkondades.

Suurem tasasusäpsus: Chuckil on erakordne tasasus, mis on oluline vahvli käitlemise täpsuse jaoks. Erinevate alusmaterjalide tasasuse täpsus varieerub järgmiselt:

Alumiiniumsulam 6061: sobib kõige paremini mõõdukat ja kerget rakenduste jaoks.

Sus430 Roostevabast terasest: pakub head tasapinda, mis on tavaliselt piisav enamiku pooljuhtide protsesside jaoks.

Tihe alumiiniumoksiid (99% Al2O3): tagab kõrgeima tasasuse, tagades tundlike protsesside ajal täpse vahvli hoidmise.

Graniit- ja SIC -keraamika: Mõlemad materjalid pakuvad suurt tasasust ja suurepärast mehaanilist stabiilsust, pakkudes paremat täpsust vahvli käitlemise nõudmiseks.

Kohandatav kaal: Chucki kaal sõltub valitud põhimaterjalist:

Alumiiniumsulam 6061: kõige kergem materjal, mis sobib ideaalselt protsesside jaoks, mis nõuavad sagedast ümberpaigutamist või käitlemist.

Graniit: pakub mõõdukat raskust, pakkudes tahket stabiilsust liigse massita.

Ränikarbiid ja alumiiniumoksiidi keraamika: kõige raskemad materjalid, pakkudes nõudlike rakenduste jaoks suurepärast tugevust ja jäikust.

Suur täpsus ja stabiilsus: SIC Chuck tagab, et vahvleid käsitletakse ülima täpsusega, pakkudes transpordi ajal töötlemise etappide kaudu minimaalset vahvli nihkumist või deformatsiooni.

Rakendused pooljuhtide tootmisesg

Mikropoorset sic -padrunit kasutatakse peamiselt vahvli käitlemise rakendustes pooljuhtide valmistamisprotsessides, sealhulgas::

• Vahvli puhastamine: hoiab vahvleid puhastusprotsesside ajal tõhusalt, et tagada täielik ja ühtlane puhastamine ilma kahjustuste tekitamata.
• Söövitus ja litograafia: tagab stabiilse vahvli hoidmise söövitamise või litograafia etappide ajal, tagades mustri täpsuse ja täpsuse.
• Sadestumine: kinnitab vahvlid füüsikalise aurude ladestumise (PVD) või keemilise aurude sadestumise ajal (CVD), mis on ülioluline õhukese kile katte jaoks pooljuhtide tootmisel.
• Ülevaatus: võimaldab kontrolli etappide ajal turvalist vahvli hoidmist, tagades, et vahvli püsib suurepäraselt joondatud ja stabiilsena kõrge eraldusvõimega pildistamiseks või mõõtmiseks.
• Pakend: abistab vahvlipakendiprotsessi, pakkudes vahvlitele turvalist käitlemist enne kiibi eraldamist või pärast seda.

Semicorexi mikropoor SIC Chuck on konstrueeritud kaasaegse pooljuhtide tootmise vajadusi silmas pidades. Olenemata sellest, kas vajate kergeid ümberpaigutamiseks või raskemaks, täpsemaks käsitsemiseks jäigamate materjalide jaoks kergeid materjale, saab meie padruni kohandada vastavalt teie täpsele spetsifikatsioonile. Mitmesuguste alusmaterjalide valikutega, mis pakuvad konkreetseid töötlemisvajadusi ainulaadseid eeliseid, pakub Semicorex toodet, mis ühendab täpsuse, mitmekülgsuse ja vastupidavuse. Lisaks tagab mikropoor pind vahvleid turvaliselt ja ühtlaselt, minimeerides kahjustuste riski ja tagades kvaliteetse käitlemise igas protsessis.

Pooljuhtide tootjatele, kes otsivad usaldusväärset, kohandatavat ja suure jõudlusega vahvlite käitlemise lahendusi, pakub semicorexi mikropoor SIC Chuck täiuslikku tasakaalu täpsuse, materiaalse paindlikkuse ja pikaajalise jõudluse osas. Meie tootega võite olla kindel, et teie vahvli käitlemise protsess on tõhus, ohutu ja väga täpne.