Pooljuhi SiC-kattega tünn-susceptor

Kui otsite kõrge puhtusastmega SiC-ga kaetud kvaliteetset grafiit-susceptorit, on pooljuhis SiC-kattega Semicorexi tünn-susceptor ideaalne valik. Selle erakordne soojusjuhtivus ja soojusjaotuse omadused muudavad selle ideaalseks kasutamiseks pooljuhtide tootmise rakendustes.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorex Barrel Susceptor koos SiC kattega pooljuhis on esmaklassiline grafiittoode, mis on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mistõttu on see ideaalne valik kasutamiseks kõrge temperatuuriga ja söövitavas keskkonnas. Selle suurepärane tihedus ja soojusjuhtivus tagavad erakordse soojusjaotuse ja kaitse pooljuhtide tootmise rakendustes.
Semicorexis keskendume oma klientidele kvaliteetsete ja kulutõhusate toodete pakkumisele. Meie pooljuhtide SiC-kattega tünn-susceptoril on hinnaeelis ja seda eksporditakse paljudele Euroopa ja Ameerika turgudele. Meie eesmärk on olla teie pikaajaline partner, pakkudes ühtlase kvaliteediga tooteid ja erakordset klienditeenindust.

Pooljuhi SiC-kattega tünni sustseptori parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusmahtuvus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

Pooljuhi SiC-kattega tünni sustseptori omadused

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.

- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.

- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.

- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.