Kui otsite kvaliteetset kõrge puhtusastmega SiC-ga kaetud grafiidisusseptorit, on SiC-kattega Semicorexi LPE tünnsusceptor ideaalne valik. Selle erakordne soojusjuhtivus ja soojusjaotusomadused muudavad selle ideaalseks kasutamiseks pooljuhtide tootmise rakendustes.
SiC kattega Semicorex LPE barrel Susceptor on esmaklassiline grafiittoode, mis on kaetud kõrge puhtusastmega SiC-ga, mistõttu on see ideaalne valik kasutamiseks kõrge temperatuuriga ja söövitavas keskkonnas. Selle suurepärane tihedus ja soojusjuhtivus tagavad erakordse soojusjaotuse ja kaitse pooljuhtide tootmise rakendustes.
Semicorexis keskendume oma klientidele kvaliteetsete ja kulutõhusate toodete pakkumisele. Meie SiC kattega LPE barrel Susceptor on hinnaeelisega ning seda eksporditakse paljudele Euroopa ja Ameerika turgudele. Meie eesmärk on olla teie pikaajaline partner, pakkudes ühtlase kvaliteediga tooteid ja erakordset klienditeenindust.
SiC kattega LPE tünnsusceptori parameetrid
CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid |
||
SiC-CVD omadused |
||
Kristalli struktuur |
FCC β faas |
|
Tihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Keemiline puhtus |
% |
99.99995 |
Soojusmahtuvus |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Youngi moodul |
Gpa (4p bend, 1300â) |
430 |
Soojuspaisumine (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
SiC kattega LPE tünnsusceptori omadused
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.
- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.
- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.
- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.
- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.