Horisontaalsed ränikarbiidist paadid

Semicorex horisontaalneränikarbiidist paadidon integreeritud 3D-printimistehnoloogia abil ja seejärel valmistatud kõrgtemperatuurse paagutamise teel. Need komponendid, mis on loodud sobima erinevate kõrge temperatuuriga horisontaalsete ahjude suurustega, on laialdaselt kasutatavad vahvlite kindlalt kinnipidamise tagamiseks kriitilistes kõrgtemperatuursetes pooljuhtide tootmisprotsessides, sealhulgas difusioon, oksüdatsioon ja keemiline aurustamine.

Ränikarbiidi füüsikalis-keemilised omadused

Semicorexi horisontaalse ränikarbiidpaadi eeliseds

1. Stabiilne tugi ja positsioon

Võrratu materjali tugevus ja kõvadus annavad Semicorexi horisontaalsetele ränikarbiidist paatidele suurepärase kandevõime, mis võimaldab neil stabiilselt kanda mitut vahvlit üheaegselt. Tänu pilu täppistöötlusele suudavad Semicorexi horisontaalsed ränikarbiidist paadid pooljuhtplaate kindlalt fikseerida ja kindlalt hoida. Ühtlaste vahedega pilustruktuur tagab, et vahvlid hoiavad kogu töötlemistsükli jooksul kindlat asendit, tagades sellega pooljuhtide tootmisprotsesside järjepidevuse ja täpsuse.

2. Ühilduvus keeruliste töötingimustega

Tänu oma suurepärasele kõrge temperatuurikindlusele ja korrosioonikindlusele on Semicorexi horisontaalsed ränikarbiidist paadid võimelised taluma rangeid töökeskkondi, nagu kõrge temperatuuriga hapniku, lämmastiku või madala kontsentratsiooniga vesinikkloriidi atmosfäär. Need erakordsed materjaliomadused võivad tõhusalt ära hoida korrosiooni ja kõrge temperatuuriga söövitavate gaaside põhjustatud kahjustusi, mis pikendavad oluliselt paatide kasutusiga.

3. Erakordne puhtus

Erinevalt tavalistest ränikarbiidiga kaetud grafiitpaatidest on Semicorexi horisontaalsed ränikarbiidist paadid valmistatud pooljuhtkvaliteediga ja kõrge puhtusastmegaränikarbiid(99,999%) ülimadala lisandite sisaldusega. See esmaklassiline materjalivalik välistab saasteainete eraldumise või katte koorumise ohu isegi kõrge temperatuuri ja karmi söövitava keskkonnaga kokkupuutel. Lisaks läbib iga meie ränikarbiidist paat enne vaakumpakendamist range ultrahelipuhastusprotsess, mis tagab vastavuse täiustatud pooljuhtide tootmisprotsessides nõutavatele puhtusstandarditele.