Kõrge temperatuuriga SiC-kattega tünnsusseptor

Kui rääkida pooljuhtide valmistamisest, on Semicorexi kõrge temperatuuriga SiC-kattega tünnsusceptor parima jõudluse ja töökindluse jaoks parim valik. Selle kvaliteetne SiC kate ja erakordne soojusjuhtivus muudavad selle ideaalseks kasutamiseks isegi kõige nõudlikumates kõrge temperatuuriga ja söövitavates keskkondades.

Saada päring

Tootekirjeldus

Semicorexi kõrge temperatuuriga SiC-kattega tünnsusceptor on ideaalne valik monokristallide kasvatamiseks ja muudeks pooljuhtide tootmiseks, mis nõuavad kõrget kuumus- ja korrosioonikindlust. Selle ränikarbiidkate pakub suurepäraseid kaitse- ja soojusjaotusomadusi, tagades usaldusväärse ja ühtlase jõudluse ka kõige keerulisemates keskkondades.

Semicorexis keskendume kvaliteetse ja kulutõhusa kõrge temperatuuriga SiC-kattega tünnsusseptori pakkumisele, seame esikohale klientide rahulolu ja pakume kulutõhusaid lahendusi. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks, pakkudes kvaliteetseid tooteid ja erakordset klienditeenindust.

Kõrgtemperatuurse SiC-kattega tünni sustseptori parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

Kõrgtemperatuurse SiC-kattega tünnsusceptori omadused

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.

- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.

- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.

- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.