Vastupidav SiC-kattega tünnsusseptor

Suurepärase tiheduse ja soojusjuhtivusega Semicorexi vastupidav SiC-kattega silindrisusceptor on ideaalne valik kasutamiseks epitaksiaalsetes protsessides ja muudes pooljuhtide tootmise rakendustes. Selle kõrge puhtusastmega SiC-kate pakub suurepäraseid kaitse- ja soojusjaotusomadusi, muutes selle usaldusväärsete ja järjepidevate tulemuste jaoks parimaks valikuks.

Saada päring

Tootekirjeldus

Kui vajate kvaliteetset grafiitsusseptorit, millel on suurepärane kuumus- ja korrosioonikindlus, otsige Semicorexi vastupidavat SiC-kattega tünnsusceptorit. Selle ränikarbiidkate tagab erakordse soojusjuhtivuse ja soojusjaotuse, tagades usaldusväärse ja ühtlase jõudluse ka kõige nõudlikumates kõrge temperatuuriga keskkondades.
Meie vastupidav SiC-kattega tünnsusceptor on loodud parima laminaarse gaasivoolu mustri saavutamiseks, tagades termilise profiili ühtluse. See aitab vältida saastumist või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie vastupidava ränidioksiidiga kaetud tünnsusceptori kohta.

Vastupidava SiC-kattega tünni sustseptori parameetrid

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusmahtuvus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

Vastupidav SiC-kattega tünnsusceptori omadused

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.

- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.

- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.

- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.