> Tooted > Pooljuhtide komponendid > Fookusrõngas > Vastupidavad fookusrõngad pooljuhtide töötlemiseks

Tooted

Uued tooted

Vastupidavad fookusrõngad pooljuhtide töötlemiseks

Semicorexi vastupidavad fookusrõngad pooljuhtide töötlemiseks on loodud vastu pidama pooljuhtide töötlemisel kasutatavate plasmasöövituskambrite ekstreemsetes keskkondades. Meie fookusrõngad on valmistatud kõrge puhtusastmega grafiidist, mis on kaetud tiheda kulumiskindla ränikarbiidi (SiC) kattega. SiC-kattel on kõrged korrosiooni- ja kuumakindlusomadused ning suurepärane soojusjuhtivus. Me kanname ränidioksiidi õhukeste kihtidena grafiidile, kasutades keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi, et parandada fookusrõngaste kasutusiga.

Saada päring

Tootekirjeldus

Meie vastupidavad fookusrõngad pooljuhtide töötlemiseks on loodud söövituse ühtluse parandamiseks ümber vahvli serva või perimeetri, minimeerides saastumist ja plaanivälist hooldust. Need on väga stabiilsed kiireks termiliseks lõõmutamiseks (RTA), kiireks termiliseks töötlemiseks (RTP) ja tugevaks keemiliseks puhastamiseks.

Semicorexis keskendume kvaliteetsete, kulutõhusate ja vastupidavate fookusrõngaste pakkumisele pooljuhtide töötlemiseks, seame esikohale klientide rahulolu ja pakume kulutõhusaid lahendusi. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks, pakkudes kvaliteetseid tooteid ja erakordset klienditeenindust.

Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie pooljuhtide töötlemiseks mõeldud vastupidavate fookusrõngaste kohta.

Vastupidavate fookusrõngaste parameetrid pooljuhtide töötlemiseks

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC Î² faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	Î¼m	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusmahtuvus	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4p bend, 1300â)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300