Difusioonahju toru

Semicorexi difusioonahju toru on pooljuhtide tootmisseadmete oluline komponent, mis on spetsiaalselt loodud pooljuhtide valmistamise protsesside jaoks oluliste täpsete ja kontrollitud reaktsioonide hõlbustamiseks. Primaarse anumana pooljuhtahju reaktsioonitsoonis mängib difusioonahju toru keskset rolli toodetud pooljuhtseadmete terviklikkuse ja kvaliteedi tagamisel. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

Difusioonahju toru on tavaliselt valmistatud kõrge puhtusastmega kvartsist või SiC-st, millel mõlemal on erakordne termiline stabiilsus ja vastupidavus keemilistele reaktsioonidele. See on oluline, kuna difusioonahju toru ei tohi tekitada lisandeid töödeldavatesse pooljuhtmaterjalidesse. Isegi väikseimad lisandid võivad oluliselt kahjustada valmistatud pooljuhtseadmete jõudlust ja töökindlust.

Difusioonahju toru valmistamisel kasutatud materjalid on valitud nende kõrge puhtuse järgi, et vältida pooljuhtplaatide saastumist töötlemise ajal. Difusioonahju toru peab vastu äärmuslikele temperatuuridele, mis ilmnevad pooljuhtide töötlemisel, ilma selle struktuurilist terviklikkust deformeerimata või kahjustamata. See tagab järjepideva ja usaldusväärse jõudluse pikema tööperioodi jooksul. Lisaks termilisele stabiilsusele on difusioonahju torul vastupidavus ka pooljuhtide töötlemisel kasutatavate kemikaalide ja gaaside söövitavale mõjule. See hoiab ära toru lagunemise aja jooksul ja tagab pikaealisuse.

Mõnel difusioonahju torul võib olla spetsiaalsetest materjalidest valmistatud vooderdised, et veelgi parandada nende jõudlust või pakkuda täiendavat kaitset saastumise või keemiliste reaktsioonide eest. Need vooderdised on hoolikalt valitud, et täiendada toru materjali omadusi ja pooljuhtide valmistamise protsessi erinõudeid.