CVD SiC-kattega tünni sustseptor

Semicorex CVD SiC kaetud tünnsusceptor on hoolikalt konstrueeritud komponent, mis on kohandatud täiustatud pooljuhtide tootmisprotsessideks, eriti epitakseerimiseks. Täpselt ja uuenduslikult ehitatud CVD SiC-kattega tünnsusceptor on loodud selleks, et hõlbustada pooljuhtmaterjalide epitaksiaalset kasvu vahvlitel võrratu tõhususe ja töökindlusega.

CVD SiC Coated Barrel Susceptori südamikus peitub tugev grafiitkonstruktsioon, mis on tuntud oma erakordse soojusjuhtivuse ja mehaanilise tugevuse poolest. See grafiidist alus toimib susseptori tugeva alusena, tagades stabiilsuse ja pikaealisuse epitaksiaalreaktorite nõudlikes tingimustes.

Grafiidi aluspinda täiustab tipptasemel keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) ränikarbiidi (SiC) kate. See spetsiaalne ränidioksiidi kate kantakse hoolikalt peale keemilise aurustamise teel, mille tulemuseks on ühtlane ja vastupidav kiht, mis katab grafiidi pinna. CVD SiC Coated Barrel Susceptori CVD SiC kate pakub hulgaliselt epitaksiaalsete protsesside jaoks olulisi eeliseid.

CVD SiC-kattega tünni susceptori CVD SiC-kattel on erakordsed soojusomadused, sealhulgas kõrge soojusjuhtivus ja termiline stabiilsus. Need omadused on olulised pooljuhtplaatide ühtlase ja täpse kuumutamise tagamisel epitaksiaalse kasvu ajal, soodustades seeläbi ühtlase kihi sadestumist ja minimeerides lõpptoote defekte.

CVD SiC Coated Barrel Susceptori tünnikujuline disain on optimeeritud vahvlite tõhusaks laadimiseks ja mahalaadimiseks ning optimaalseks soojusjaotuseks kogu vahvli pinnal. See disainifunktsioon koos CVD SiC katte suurepärase jõudlusega tagab võrratu protsessi juhtimise ja saagikuse epitaksiaalsetes tootmistoimingutes.