Kohandatud SiC konsooliga mõla

Semicorexi kohandatud SiC konsoolilaba toimib kriitilise lülina vahvlite laadimissüsteemi ja difusiooniahju südame vahel, mis vastutab ränivahvlitega koormatud kvarts- või SiC-vahvlipaatide transportimise eest kõrge temperatuuriga töötlemise tsooni. Nende disain ja materjali omadused on selle nõudliku ülesande jaoks täpselt optimeeritud:

Tugev konsoolstruktuur stabiilseks vahvlite transportimiseks:Konsoolne disain, mida iseloomustab jäik ahju ulatuv õlg, tagab erakordse stabiilsuse ja täpse kontrolli vahvli liikumise üle. See tagab sujuva ja vibratsioonivaba transpordi, minimeerides laadimise ja mahalaadimise ajal vahvli purunemise või valede joondamise riski.

Suur koormustaluvus tõhusaks partiitöötluseks:SiC keraamikale omane tugevus ja jäikus võimaldavad kohandatud SiC konsoolilabal mahutada räniplaatide suuri koormusi, maksimeerides iga difusioonitsükli läbilaskevõimet ja aidates kaasa suurematele tootmismahtudele.

Täpne mõõtmete juhtimine sujuvaks integreerimiseks: Kohandatud SiC konsooli mõla on hoolikalt valmistatud täpsete mõõtmete spetsifikatsioonide järgi, tagades täiusliku sobivuse difusiooniahju süsteemiga ja hõlbustades sujuvat integreerimist automaatsete vahvlite käitlemise robotitega.

SiC keraamika valik, täpsemaltReaktsiooniga seotud ränikarbiid (RBSiC)jaPaagutatud ränikarbiid (SSiC), kuna kohandatud SiC konsoollaba jaoks valitud materjal tuleneb nende erakordsetest jõudlusomadustest kõrge temperatuuriga keskkondades:

Vankumatu stabiilsus kõrgel temperatuuril: Kohandatud SiC konsoolilabal on erakordne vastupidavus deformatsioonile ja roomamisele isegi kõrgetel temperatuuridel (kuni 1600 °C), mida esineb difusiooniahjudes. See tagab vahvlite järjepideva toe ja hoiab ära vajumise või paindumise, mis võib kahjustada vahvli ühtlust.

Erakordne vastupidavus termilisele šokile:Võime taluda kiireid temperatuurimuutusi ilma kahjustusteta on ülioluline kohandatud SiC konsoolilaba terviklikkuse säilitamiseks lugematute difusioonitsüklite jooksul. SiC keraamika on selles osas suurepärane, minimeerides pragunemise või purunemise riski, mis võib viia kulukate seisakuteni.

Madal soojuspaisumine täpseks joondamiseks:SiC keraamika minimaalne soojuspaisumine tagab, et kohandatud SiC konsoolilaba säilitab oma mõõtmete stabiilsuse töö ajal kogetavates laiades temperatuurivahemikes. See on kriitiline vahvlite täpse joondamise säilitamiseks ahjus, tagades ühtlase kuumutamise ja ühtlase difusiooniprofiili.