Semicorex pakub vahvlipaate, pjedestaale ja kohandatud vahvlikandjaid nii vertikaalsete / kolonnide kui ka horisontaalsete konfiguratsioonide jaoks. Oleme aastaid olnud ränikarbiidist kattekile tootja ja tarnija. Meie Batch Wafer Boat on hea hinnaeelisega ja katab enamiku Euroopa ja Ameerika turgudest. Loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Semicorex Batch Wafer Boat on valmistatud kvaliteetsest ränikarbiidkeraamilisest materjalist, mis tagab suurepärase keemilise vastupidavuse ja termilise stabiilsuse.
Meie Batch Wafer Boat on sileda pinnaviimistlusega ning see pakub töötlemise ajal suurepärast vahvlituge ja kaitset. SiC kate tagab ühtluse ja stabiilsuse töötlemise ajal, kaitstes vahvleid saastumise ja kahjustuste eest. Suurepärase soojusjuhtivusega ja suurepärase mehaanilise tugevusega annavad meie vahvlihoidikud ühtlaseid ja usaldusväärseid tulemusi.
Meie ekspertide meeskond on pühendunud parima kvaliteedi ja teenuse pakkumisele. Pakume kohandatud disainilahendusi, mis vastavad teie konkreetsetele nõuetele, ja meie partiide vahvlipaate toetab meie kvaliteedi tagamise programm.
Batch Wafer Boat'i parameetrid
Tehnilised omadused |
||||
Indeks |
Üksus |
Väärtus |
||
Materjali nimi |
Reaktsioonpaagutatud ränikarbiid |
Survevaba paagutatud ränikarbiid |
Ümberkristallitud ränikarbiid |
|
Koosseis |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Puistetihedus |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Paindetugevus |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380 (55) |
80–90 (20 °C) 90-100 (1400 °C) |
Survetugevus |
MPa (kpsi) |
1120 (158) |
3970 (560) |
> 600 |
Kõvadus |
Nupp |
2700 |
2800 |
/ |
Vastupidavuse murdmine |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Soojusjuhtivus |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Soojuspaisumise koefitsient |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Erisoojus |
Džauli/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Maksimaalne õhutemperatuur |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Elastne moodul |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Erinevus SSiC ja RBSiC vahel:
1. Paagutamisprotsess on erinev. RBSiC on infiltreerida vaba Si madalal temperatuuril ränikarbiidi, SSiC tekib loomulikul kokkutõmbumisel 2100 kraadi juures.
2. SSiC-l on siledam pind, suurem tihedus ja suurem tugevus, mõnede rangemate pinnanõuetega tihendite puhul on SSiC parem.
3. Erinev kasutusaeg erineva PH ja temperatuuri juures, SSiC on pikem kui RBSiC
Batch Wafer Boat omadused
- Kõrge tugevus (Mohsi kõvadus 9,5, ainult teemandi järel)
- Korrosioonikindlus hapete, leeliste, soolade ja orgaaniliste lahustite suhtes
- Kõrge soojusjuhtivus, plasmatakistus, pikk kasutusiga
- Pooljuhid