Tünn Susceptor ränikarbiidiga kaetud grafiit

Semicorex Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite on spetsiaalne komponent, mis on loodud kasutamiseks epitakseerimisprotsessis, eriti vahvlite kandmisel. See barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite on valmistatud grafiitmaterjalist, mis on tuntud oma suurepärase soojusjuhtivuse ja stabiilsuse poolest kõrgetel temperatuuridel. Selle jõudluse ja vastupidavuse suurendamiseks on grafiidi pind kaetud ränikarbiidi (SiC) kihiga.

Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite'i ränikarbiidist kate täidab selles kontekstis mitmeid olulisi eesmärke. Esiteks pakub see täiendava kaitsekihi all olevale grafiidist substraadile, kaitstes seda keemiliste reaktsioonide ja kulumise eest, mis võivad tekkida epitaksiprotsessi käigus. Teiseks suurendab SiC kate barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite termilisi omadusi, võimaldades vahvlite tõhusat ja ühtlast kuumutamist. See ühtlane kuumutamine on pooljuhtplaatidel järjepidevate ja kvaliteetsete epitaksiaalsete kihtide saavutamiseks hädavajalik.

Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite disain on optimeeritud mitme vahvli turvaliseks hoidmiseks ja transportimiseks kogu epitakseerimisprotsessi vältel. Selle tünnilaadne struktuur võimaldab vahvlite hõlpsat laadimist ja mahalaadimist, tagades samal ajal õige soojusjaotuse ja termilise stabiilsuse töötamise ajal.

Üldiselt kujutab barrel Susceptor ränikarbiidiga kaetud grafiit endast epitaksiseadmete kriitilist komponenti, pakkudes töökindlust, vastupidavust ja täpset termokontrolli, mis on täiustatud pooljuhtseadmete tootmiseks hädavajalik.