Tünni sustseptor vedelfaasi epitaksia jaoks

Kui vajate grafiidist sustseptorit, mis töötaks usaldusväärselt ja järjepidevalt ka kõige nõudlikumates kõrge temperatuuriga ja söövitavamates keskkondades, on Semicorexi tünnsusceptor vedelfaasilise epitaksi jaoks ideaalne valik. Selle ränikarbiidkate tagab suurepärase soojusjuhtivuse ja soojusjaotuse, tagades erakordse jõudluse pooljuhtide tootmise rakendustes.

Saada päring

Tootekirjeldus

Liquid Phase Epitaxy Semicorexi tünnsusceptor on parim valik pooljuhtide tootmise rakendustes, mis nõuavad kõrget kuumus- ja korrosioonikindlust. Selle kõrge puhtusastmega SiC kate ja erakordne soojusjuhtivus tagavad suurepärased kaitse- ja soojusjaotusomadused, tagades usaldusväärse ja ühtlase jõudluse ka kõige keerulisemates keskkondades.

Meie vedelfaasilise epitaksi tünn-susceptor on loodud parima laminaarse gaasivoolu mustri saavutamiseks, tagades termilise profiili ühtluse. See aitab vältida saastumist või lisandite difusiooni, tagades vahvlikiibil kvaliteetse epitaksiaalse kasvu.

Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie vedelfaasi epitaksika tünnsusseptori kohta.

Tünni sustseptori parameetrid vedelfaasi epitaksia jaoks

CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid
SiC-CVD omadused
Kristalli struktuur	FCC β faas
Tihedus	g/cm³	3.21
Kõvadus	Vickersi kõvadus	2500
Tera suurus	μm	2-10
Keemiline puhtus	%	99.99995
Soojusvõimsus	J kg-1 K-1	640
Sublimatsiooni temperatuur	℃	2700
Üleseksuaalne tugevus	MPa (RT 4-punktiline)	415
Youngi moodul	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Soojuspaisumine (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Soojusjuhtivus	(W/mK)	300

Tünnsusceptori omadused vedelfaasi epitaksia jaoks

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on hea tihedus ja need võivad mängida head kaitserolli kõrgel temperatuuril ja söövitavas töökeskkonnas.

- Üksikkristallide kasvatamiseks kasutatav ränikarbiidiga kaetud sustseptor on väga kõrge pinnatasasusega.

- Vähendage soojuspaisumise koefitsiendi erinevust grafiidist aluspinna ja ränikarbiidi kihi vahel, parandage tõhusalt sidumistugevust, et vältida pragunemist ja delaminatsiooni.

- Nii grafiidist substraadil kui ka ränikarbiidikihil on kõrge soojusjuhtivus ja suurepärased soojusjaotuse omadused.

- Kõrge sulamistemperatuur, kõrge temperatuuri oksüdatsioonikindlus, korrosioonikindlus.