Semicorexi PSS-käsitluskandur vahvlite edastamiseks on loodud kõige nõudlikumate epitakseerimisseadmete jaoks. Meie ülipuhas grafiidikandur talub karmi keskkonda, kõrgeid temperatuure ja karmi keemilist puhastust. SiC-ga kaetud kandjal on suurepärased soojusjaotusomadused, kõrge soojusjuhtivus ja see on kulutõhus. Meie tooteid kasutatakse laialdaselt paljudel Euroopa ja Ameerika turgudel ning loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Semicorexi vahvlite teisaldamise PSS-i käsitsemiskandur on loodud vastama epitaksiaalse kasvu ja vahvlite käsitsemisprotsesside kõrge temperatuuri ja karmide keemilise puhastuse nõuetele. Meie ülipuhas grafiidikandja sobib ideaalselt õhukese kile sadestamise faaside jaoks, nagu MOCVD, epitaksia sustseptorid, pannkoogi- või satelliidiplatvormid ning vahvlite töötlemiseks, näiteks söövitamiseks. SiC-ga kaetud kandjal on suurepärased soojusjaotusomadused, kõrge soojusjuhtivus ja see on kulutõhus.
Võtke meiega ühendust juba täna, et saada lisateavet meie vahvlite teisaldamise PSS-i käitlemiskanduri kohta.
PSS-i käitlemiskandja parameetrid vahvlite edastamiseks
CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid |
||
SiC-CVD omadused |
||
Kristalli struktuur |
FCC β faas |
|
Tihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Keemiline puhtus |
% |
99.99995 |
Soojusvõimsus |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Youngi moodul |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Soojuspaisumine (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
PSS-i käsitsemiskanduri omadused vahvlite edastamiseks
- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aurustamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut