Semicorexi PSS-söövituskandur vahvlite töötlemiseks on spetsiaalselt loodud nõudlike epitakseerimisseadmete rakenduste jaoks. Meie ülipuhas grafiidikandja sobib ideaalselt õhukese kile sadestamise faaside jaoks, nagu MOCVD, epitaksia sustseptorid, pannkoogi- või satelliidiplatvormid ning vahvlite töötlemiseks, näiteks söövitamiseks. Vahvlite töötlemiseks mõeldud PSS-söövituskanduril on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, suurepärased soojusjaotusomadused ja kõrge soojusjuhtivus. Meie tooted on kulutõhusad ja neil on hea hinnaeelis. Me teenindame paljusid Euroopa ja Ameerika turge ning loodame saada teie pikaajaliseks partneriks Hiinas.
Semicorexi PSS-söövituskandur vahvlite töötlemiseks on loodud karmides keskkondades, mis on vajalikud epitaksiaalseks kasvuks ja vahvlite käsitsemiseks. Meie ülipuhas grafiidikandur on loodud toetama vahvleid õhukese kile sadestamise faasides, nagu MOCVD ja epitaksussceptorid, pannkoogid või satelliitplatvormid. SiC-ga kaetud kandjal on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, suurepärased soojusjaotusomadused ja kõrge soojusjuhtivus. Meie tooted on kulutõhusad ja pakuvad head hinnaeelist.
PSS-i söövituskanduri aluse parameetrid vahvlite töötlemiseks
CVD-SIC katte peamised spetsifikatsioonid |
||
SiC-CVD omadused |
||
Kristalli struktuur |
FCC β faas |
|
Tihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Keemiline puhtus |
% |
99.99995 |
Soojusmahtuvus |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Youngi moodul |
Gpa (4p bend, 1300â) |
430 |
Soojuspaisumine (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
PSS-söövituskanduri aluse omadused vahvlite töötlemiseks
- Vältige mahakoorumist ja veenduge, et kõik pinnad oleksid kaetud
Kõrge temperatuuriga oksüdatsioonikindlus: stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C
Kõrge puhtusastmega: valmistatud CVD keemilise aur-sadestamise teel kõrgel temperatuuril kloorimise tingimustes.
Korrosioonikindlus: kõrge kõvadus, tihe pind ja peened osakesed.
Korrosioonikindlus: hape, leelis, sool ja orgaanilised reagendid.
- Saavutage parim laminaarse gaasivoolu muster
- Termoprofiili ühtluse garantii
- Vältige saastumist või lisandite levikut