Semicorexi vastupidavad fookusrõngad pooljuhtide töötlemiseks on loodud vastu pidama pooljuhtide töötlemisel kasutatavate plasmasöövituskambrite ekstreemsetes keskkondades. Meie fookusrõngad on valmistatud kõrge puhtusastmega grafiidist, mis on kaetud tiheda kulumiskindla ränikarbiidi (SiC) kattega. SiC-kattel on kõrged korrosiooni- ja kuumakindlusomadused ning suurepärane soojusjuhtivus. Me kanname ränidioksiidi õhukeste kihtidena grafiidile, kasutades keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi, et parandada fookusrõngaste kasutusiga.
Loe rohkemSaada päring