Tooted

Kui rääkida vahvlite käitlemise protsessidest, nagu epitaksimine ja MOCVD, on Semicorexi kõrge temperatuuriga SiC kate plasmasöövituskambrite jaoks parim valik. Meie kandurid tagavad suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse tänu meie peenele SiC kristallkattele.

Semicorexi ICP plasmasöövitusalus on loodud spetsiaalselt kõrge temperatuuriga vahvlite käitlemise protsesside jaoks, nagu epitaksia ja MOCVD. Stabiilse ja kõrge temperatuuriga kuni 1600°C oksüdatsioonikindlusega tagavad meie kandurid ühtlased termilised profiilid, laminaarsed gaasivoolumustrid ning hoiavad ära saastumise või lisandite difusiooni.

Semicorexi SiC-kattega kandja ICP plasmasöövitussüsteemi jaoks on usaldusväärne ja kulutõhus lahendus kõrgtemperatuuriliste vahvlite käitlemise protsesside jaoks, nagu epitaksia ja MOCVD. Meie kanduritel on peen SiC kristallkate, mis tagab suurepärase kuumakindluse, ühtlase termilise ühtluse ja vastupidava keemilise vastupidavuse.

Semicorexi ränikarbiidiga kaetud sustseptor induktiivselt sidestatud plasmale (ICP) on loodud spetsiaalselt kõrgtemperatuuriliste vahvlite käitlemise protsesside jaoks, nagu epitaksia ja MOCVD. Stabiilse ja kõrge temperatuuriga kuni 1600°C oksüdatsioonikindlusega tagavad meie kandurid ühtlased termilised profiilid, laminaarsed gaasivoolumustrid ning hoiavad ära saastumise või lisandite difusiooni.

Semicorexi ICP söövitusvahvlihoidja on ideaalne lahendus kõrge temperatuuriga vahvlite käitlemise protsesside jaoks, nagu epitaksimine ja MOCVD. Stabiilse ja kõrge temperatuuriga kuni 1600°C oksüdatsioonikindlusega tagavad meie kandurid ühtlased termilised profiilid, laminaarsed gaasivoolumustrid ning hoiavad ära saastumise või lisandite difusiooni.

Semicorexi ICP söövitusplaat on ideaalne lahendus nõudlikeks vahvlite käsitsemiseks ja õhukese kile sadestamise protsessideks. Meie toode tagab suurepärase kuuma- ja korrosioonikindluse, ühtlase termilise ühtluse ja laminaarse gaasivoolu. Puhta ja sileda pinnaga meie kandja sobib suurepäraselt puutumata vahvlite käsitsemiseks.