SiC kate on õhuke kiht sustseptorile keemilise aurustamise-sadestamise (CVD) protsessi kaudu. Ränikarbiidmaterjal pakub räni ees mitmeid eeliseid, sealhulgas 10-kordne elektrivälja tugevus, 3-kordne ribavahe, mis tagab materjali kõrge temperatuuri- ja keemilise vastupidavuse, suurepärase kulumiskindluse ja soojusjuhtivuse.
Semicorex pakub kohandatud teenust, aitab teil uuendada komponente, mis kestavad kauem, lühendavad tsükliaegu ja parandavad saagikust.
SiC-kattel on mitmeid ainulaadseid eeliseid
Vastupidavus kõrgele temperatuurile: CVD SiC-ga kaetud sustseptor talub kõrgeid temperatuure kuni 1600 °C ilma märkimisväärse termilise lagunemiseta.
Keemiline vastupidavus: ränikarbiidkate tagab suurepärase vastupidavuse paljudele kemikaalidele, sealhulgas hapetele, leelistele ja orgaanilistele lahustitele.
Kulumiskindlus: SiC-kate tagab materjalile suurepärase kulumiskindluse, muutes selle sobivaks rakendusteks, mis nõuavad suurt kulumist.
Soojusjuhtivus: CVD SiC kate tagab materjali kõrge soojusjuhtivusega, muutes selle sobivaks kasutamiseks kõrge temperatuuriga rakendustes, mis nõuavad tõhusat soojusülekannet.
Kõrge tugevus ja jäikus: ränikarbiidiga kaetud sustseptor tagab materjalile suure tugevuse ja jäikuse, muutes selle sobivaks rakendusteks, mis nõuavad suurt mehaanilist tugevust.
SiC katet kasutatakse erinevates rakendustes
LED-tootmine: CVD SiC-kattega sustseptorit kasutatakse mitmesuguste LED-tüüpide, sealhulgas sinise ja rohelise LED-i, UV-LED-i ja sügav-UV-LED-i tootmisel, kuna see on kõrge soojusjuhtivuse ja keemilise vastupidavuse tõttu.
Mobiilside: CVD SiC kaetud sustseptor on HEMT oluline osa GaN-on-SiC epitaksiaalse protsessi lõpuleviimiseks.
Pooljuhtide töötlemine: CVD SiC-ga kaetud sustseptorit kasutatakse pooljuhtide tööstuses mitmesugusteks rakendusteks, sealhulgas vahvlite töötlemiseks ja epitaksiaalseks kasvatamiseks.
SiC-kattega grafiitkomponendid
Valmistatud Silicon Carbide Coating (SiC) grafiidist, kate kantakse CVD-meetodil kõrge tihedusega grafiidi teatud klassidele, nii et see võib töötada kõrge temperatuuriga ahjus temperatuuril üle 3000 °C inertses atmosfääris ja 2200 °C vaakumis. .
Materjali erilised omadused ja väike mass võimaldavad kiiret kuumenemist, ühtlast temperatuurijaotust ja silmapaistvat juhtimistäpsust.
Semicorex SiC Coatingi materjaliandmed
Tüüpilised omadused |
Ühikud |
Väärtused |
Struktuur |
|
FCC β faas |
Orienteerumine |
murdosa (%) |
111 eelistatud |
Puistetihedus |
g/cm³ |
3.21 |
Kõvadus |
Vickersi kõvadus |
2500 |
Soojusvõimsus |
J kg-1 K-1 |
640 |
Soojuspaisumine 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngi moodul |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Tera suurus |
μm |
2-10 |
Sublimatsiooni temperatuur |
℃ |
2700 |
Üleseksuaalne tugevus |
MPa (RT 4-punktiline) |
415 |
Soojusjuhtivus |
(W/mK) |
300 |
Kokkuvõte CVD SiC-ga kaetud sustseptor on komposiitmaterjal, mis ühendab sustseptori ja ränikarbiidi omadused. Sellel materjalil on ainulaadsed omadused, sealhulgas kõrge temperatuuri- ja kemikaalikindlus, suurepärane kulumiskindlus, kõrge soojusjuhtivus ning kõrge tugevus ja jäikus. Need omadused muudavad selle atraktiivseks materjaliks mitmesuguste kõrge temperatuuriga rakenduste jaoks, sealhulgas pooljuhtide töötlemine, keemiline töötlemine, kuumtöötlus, päikesepatareide tootmine ja LED-tootmine.
Semicorexi sustseptorid MOCVD reaktorite jaoks on kvaliteetsed tooted, mida kasutatakse pooljuhtide tööstuses mitmesugusteks rakendusteks, nagu ränikarbiidikihid ja epitaksilised pooljuhid. Meie toode on saadaval käigu- või rõngakujulisena ja on loodud saavutama kõrgel temperatuuril oksüdatsioonikindlust, muutes selle stabiilseks temperatuuridel kuni 1600 °C.
Loe rohkemSaada päringVõite olla kindel, et ostate meie tehasest Silicon Epitaxy Susceptors. Semicorexi Silicon Epitaxy Susceptor on kvaliteetne ja kõrge puhtusastmega toode, mida kasutatakse pooljuhtide tööstuses vahvlikiibi epitaksiaalseks kasvatamiseks. Meie tootel on suurepärane katmistehnoloogia, mis tagab katte olemasolu kõikidel pindadel, vältides koorumist. Toode on stabiilne kõrgetel temperatuuridel kuni 1600°C, mistõttu sobib kasutamiseks äärmuslikes keskkondades.
Loe rohkemSaada päringSemicorex on MOCVD jaoks mõeldud SiC Susceptori juhtiv tootja ja tarnija. Meie toode on spetsiaalselt loodud pooljuhtide tööstuse vajaduste rahuldamiseks vahvlikiibi epitaksiaalse kihi kasvatamisel. Toodet kasutatakse MOCVD keskplaadina, hammasratta või rõngakujulise disainiga. Sellel on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis muudab selle ideaalseks kasutamiseks äärmuslikes keskkondades.
Loe rohkemSaada päringSemicorex on MOCVD jaoks mõeldud ränikarbiidkattega grafiit-susseptori usaldusväärne tarnija ja tootja. Meie toode on spetsiaalselt loodud pooljuhtide tööstuse vajaduste rahuldamiseks vahvlikiibi epitaksiaalse kihi kasvatamisel. Toodet kasutatakse MOCVD keskplaadina, hammasratta või rõngakujulise disainiga. Sellel on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis muudab selle ideaalseks kasutamiseks äärmuslikes keskkondades.
Loe rohkemSaada päringSemicorex on SiC Coated MOCVD Graphite Satellite Platformi mainekas tarnija ja tootja. Meie toode on spetsiaalselt loodud pooljuhtide tööstuse vajaduste rahuldamiseks vahvlikiibi epitaksiaalse kihi kasvatamisel. Toodet kasutatakse MOCVD keskplaadina, hammasratta või rõngakujulise disainiga. Sellel on kõrge kuumus- ja korrosioonikindlus, mis muudab selle ideaalseks kasutamiseks äärmuslikes keskkondades.
Loe rohkemSaada päringSemicorex on Wafer Epitaxy jaoks mõeldud kvaliteetse MOCVD Cover Star Disc Plate tuntud tootja ja tarnija. Meie toode on spetsiaalselt loodud pooljuhtide tööstuse vajaduste rahuldamiseks, eriti vahvlikiibile epitaksiaalse kihi kasvatamisel. Meie susceptorit kasutatakse MOCVD keskplaadina, hammasratta või rõngakujulise kujundusega. Toode on väga vastupidav kõrgele kuumusele ja korrosioonile, mistõttu on see ideaalne kasutamiseks äärmuslikes keskkondades.
Loe rohkemSaada päring