SiC kattega grafiidisusseptor

SiC-kattega grafiidisusseptori SiC-kate teenib mitut eesmärki. Esiteks tagab see parema termilise stabiilsuse, võimaldades epitaksiaalsete kasvuprotsesside ajal temperatuuri gradiente täpselt kontrollida. See stabiilsus on ülioluline ühtsete ja kvaliteetsete ränikihtide saavutamiseks pooljuhtplaatides. SiC-kattega grafiidisusseptori SiC-kate pakub suurepärast vastupidavust keemilisele korrosioonile ja termilisele šokile, kaitstes sustseptori terviklikkust isegi nõudlikes protsessitingimustes. See vastupidavus tähendab pikemat tööiga ja lühendatud seisakuid, mis lõppkokkuvõttes aitab kaasa pooljuhtide tootmisrajatiste suuremale tootlikkusele ja kuluefektiivsusele.

SiC-kattega Graphite Susceptori silindri disain hõlbustab vahvlite tõhusat laadimist ja mahalaadimist, optimeerides epitakseerimisprotsesside läbilaskevõimet. Lisaks on SiC-kattega Graphite Susceptor kohandatud toode ja seda saab kohandada vastavalt pooljuhtide tootjate spetsiifilistele nõuetele ja eelistustele, tagades ühilduvuse erinevate seadmete konfiguratsioonide ja protsessiparameetritega.