Pooljuhträni monokristallide soojusvälja katmine

Pooljuhträni monokristalli kuumavälja kaetud osad kaetakse tavaliselt CVD-meetodil, sealhulgas pürolüütilise süsinikkattega,Ränikarbiidi katejaTantaalkarbiidkate, millest igaühel on erinevad omadused.

Üldised punktid: substraat on kõrge puhtusastmega isostaatiline grafiit, tavaliselt vähem kui 5 ppm tuhka; katmiseks kasutatakse CVD meetodit; kate on põhimõtteliselt 100% süsinikust või ränikarbiidist; pärast katmist on pind suhteliselt tihe, gaasi, eriti ahju räni auru või ränioksiidi gaasi saab põhimõtteliselt blokeerida; enda tolmu lendumine on samuti väga väike.

Erinevused: katte standardpaksus, pürolüütiline süsinikkate on üldiselt umbes 40 um; Ränikarbiidi katmine tehakse tavaliselt umbes 100 um, kuid vastavalt klientide erinevatele vajadustele saab seda teha 30 um ~ 150 um, sealhulgas üks kate ja kaks katet; tantaalkarbiidi kate on üldiselt 35 ± 15 um.

Pürolüütiline süsinikkate, selle tihedus on samaväärne mittepoorse grafiidi tihedusega, mis on umbes 2,2. Sellel on madal takistus ja kõrge soojusjuhtivus pinna paralleelsuunas, nii et see suudab hoida pinna temperatuuri konsistentsi ning sellel on ka madal soojuspaisumistegur ja kõrge elastsusmoodul. Pinna ristisuunas on soojuspaisumistegur suurem ja soojusjuhtivus väiksem.

Ränikarbiidiga kaetud toodete puhul on katte elastsusmoodul väga kõrge, kümneid kordi kõrgem sisemise grafiidist aluspinna elastsusmoodulist, seega tuleb toote purunemise vältimiseks seda õrnalt käsitseda.

Kogu lisandisisaldusega pürolüütiline süsinikkate ja ränikarbiidi kate on alla 5 ppm, kui põhilise metallielemendi sisaldus on alla 0,1 või 0,01 ppm, on boorielemendiga keerulisem toime tulla 0,01 või 0,15 ppm.

Semicorex pakub kvaliteetset CVD-katte toodet pooljuhtide jaoks koos kohandatud teenindusega. Kui teil on küsimusi või vajate lisateavet, võtke meiega kindlasti ühendust.

Kontakttelefon # +86-13567891907

E-post: sales@semicorex.com