Keraamilised fookusrõngad pooljuhtidele

Semicorex keraamikateravustamisrõngass pooljuhtide jaoks on ideaalsed lahendused, mis on kohandatud karmide plasmasöövitamise töötingimuste jaoks. Keeruka pooljuhtide söövitusprotsessi ajal on ülioluline plasmajaotuse täpne juhtimine, mis tagab söövituskambri stabiilsuse ja pooljuhtide söövitamise ühtlase ühtluse. Täiustatud söövitusseadmetes kasutatavate asendamatute komponentidena paiknevad teravustamisrõngad tavaliselt pooljuhtplaatide ümber ja puutuvad nendega otse kokku. Fookusrõngaste jõudlus mõjutab otseselt protsessi korratavust, toote saagist ja seadmete tööaega.

Semicorexi keraamiliste fookusrõngaste eelised pooljuhtide jaoks

1. Ülikõrge materjali puhtus

Meie puhtusCVD SiCmaterjal ületab 99,9995%. See võib tõhusalt ära hoida söövituskambri ja pooljuhtplaatide saastumist, mis on põhjustatud ebapiisavast materjalipuhtusest.

2.Erandlik korrosioonikindlus

Semicorexi keraamilised pooljuhtide fookusrõngad on valmistatud CVD SiC-st, millel on suurepärane vastupidavus oksüdatsioonile, erosioonile ja keemilisele korrosioonile, olles eriti tõhusad protsessigaaside, nagu HF ja HCI, ning plasmagaasi vastu.

3. Suurepärane vastupidavus

Pooljuhtide Semicorexi keraamiliste fookusrõngaste takistuse ühtlus on alla 5%.

Takistuse vahemikud: madala eraldusvõimega. (<0,02 Ω·cm), keskmine res. (0,2–25 Ω·cm), kõrge eraldusvõimega (>100 Ω·cm).

Semicorexi keraamiliste fookusrõngaste funktsioonid pooljuhtide jaoks

1. Kontrollige ja ühtlustage serva elektrivälja ja plasmajaotust

Pooljuhtide keraamilised pooljuhtide fookusrõngad suudavad kontrollida elektrivälja jaotust söövituskambris ja saavutada pooljuhtplaatide ümber ühtlasema plasmaümbrise, võimaldades plasmal vertikaalselt ja ühtlaselt vahvli pinda põrkuda. Sel viisil saab söövitusserva efekti oluliselt vähendada ja söövitamise täpsust oluliselt parandada.

2.Kaitske elektrostaatilist padrunit

Ilma fookusrõngaste kaitseta söövitusprotsessis puutub elektrostaatiline padrun kokku suure energiaga plasma pommitamise ja erosiooniga. Elektrostaatilised padrunid on valmistatud kallitest materjalidest, mille vahetuskulud on äärmiselt suured. Fookusrõngaste kasutamine võib tõhusalt vähendada elektrostaatilise padruni plasmakorrosiooni ja minimeerida elektrostaatilise padruni hooldus- ja asenduskulusid.