CVD dušiotsik SiC kattega

Kõrge puhtusastmega grafiidist valmistatud ja CVD-meetodil õhukese SiC kihiga ümbritsetud SiC Coat CVD dušiotsik ühendab nii grafiidi kui ka ränikarbiidi eeliste omadusi. Selle sünergia tulemuseks on komponent, mis mitte ainult ei taga suurepäraselt gaaside järjepidevat ja täpset jaotumist, vaid millel on ka märkimisväärne vastupidavus sadestamise keskkondades sageli esinevate termiliste ja keemiliste raskuste suhtes.

SiC Coatiga CVD dušipea funktsionaalsuse võti seisneb selle võimes ühtlaselt hajutada lähtegaase kogu aluspinna pinnale, mis saavutatakse selle strateegilise paigutusega aluspinna kohal ja selle pinda läbivate väikeste aukude või düüside hoolika disainiga. See ühtlane jaotus on järjekindlate ladestustulemuste saavutamiseks keskse tähtsusega.

SiC-i valik SiC Coat-kattega CVD dušipea kattematerjaliks ei ole meelevaldne, vaid tuleneb selle suurepärasest soojusjuhtivusest ja keemilisest stabiilsusest. Need omadused on olulised kuumuse akumuleerumise leevendamiseks sadestamisprotsessi ajal ja ühtlase temperatuuri säilitamiseks kogu substraadi ulatuses, lisaks pakuvad tugevat kaitset söövitavate gaaside ja karmide tingimuste eest, mis on tüüpilised CVD-protsessidele.

Erinevate CVD-süsteemide ja protsessinõuete erinõuetele kohandatud SiC-kattega CVD-dušipea disain hõlmab plaadi või ketta kuju, mis on varustatud hoolikalt arvutatud aukude või piludega. SiC Coati disainiga CVD dušiotsik ei taga mitte ainult ühtlast gaasijaotust, vaid ka optimaalseid voolukiirusi, mis on olulised sadestamise protsessi jaoks, rõhutades komponendi rolli materjali sadestamise protsesside täpsuse ja ühtsuse poole püüdlemisel.