CVD-SiC dušipea

Semicorex CVD-SiC dušipea tagab vastupidavuse, suurepärase soojusjuhtimise ja vastupidavuse keemilisele lagunemisele, muutes selle sobivaks valikuks nõudlikeks CVD-protsessideks pooljuhtide tööstuses. Semicorex on pühendunud kvaliteetsete toodete pakkumisele konkurentsivõimeliste hindadega, me ootame teie pikaajalist partnerit Hiinas.

Saada päring

Tootekirjeldus

CVD-dušipea kontekstis on CVD-SiC-dušipea tavaliselt konstrueeritud nii, et lähtegaasid jaotuvad CVD-protsessi ajal ühtlaselt substraadi pinnale. Dušiotsik paikneb tavaliselt aluspinna kohal ja lähtegaasid voolavad läbi selle pinnal olevate väikeste aukude või düüside.

Dušiotsas kasutatav CVD-SiC materjal pakub mitmeid eeliseid. Selle kõrge soojusjuhtivus aitab hajutada CVD protsessi käigus tekkivat soojust, tagades ühtlase temperatuuri jaotumise kogu aluspinnal. Lisaks võimaldab SiC keemiline stabiilsus sellel taluda söövitavaid gaase ja karmi keskkonda, mida CVD-protsessides tavaliselt esineb.

CVD-SiC dušipea disain võib erineda sõltuvalt konkreetsest CVD-süsteemist ja protsessinõuetest. Tavaliselt koosneb see aga plaadi- või kettakujulisest komponendist, millel on rida täppispuuritud auke või pilusid. Aukude muster ja geomeetria on hoolikalt konstrueeritud, et tagada ühtlane gaasijaotus ja voolukiirus kogu substraadi pinnal.