Alumiiniumnitriidsoojendid

Semicorexi alumiiniumnitriidsoojendid on tipptasemel keraamilised kütteelemendid, mis on mõeldud rakenduste jaoks, mis nõuavad kõrget soojusjuhtivust, elektrilist isolatsiooni ja erakordset vastupidavust. Alumiiniumnitriidi keraamikast konstrueeritud küttekehad pakuvad kiiret ja ühtlast kütte, muutes need ideaalseks ülitäpseks keskkonnas nagu pooljuhtide töötlemine, meditsiiniagnostika ja täiustatud analüütiline mõõteriistad.

Alumiiniumnitriidi küttekehad on pooljuhtide õhukese kile sadestusseadme põhikomponendid. Neid rakendatakse otse protsessikambrisse ja otseses kontaktis vahvliga. Nad mitte ainult ei kanna vahvlit, vaid tagavad ka vahvli saamise a 

stabiilne ja ühtlane protsessi temperatuur. See omadus on hädavajalik vahvli pinna ja ühtlaste õhukeste kilede tekitamiseks.

Tavaliselt hõlmavad alumiiniumnitriidi küttekehad vahvli laadimispinnaga keraamilist substraati ja silindrilist tugikeha, mis toetab seda tagaküljel. Lisaks kuumutamiseks takistavale kuumutamisahelale on keraamilise substraadi pinnal või pinnal ka RF -elektrood ja elektrostaatiline patukrood ja muud juhtmed.

Õhukese kilede sadestusseadmed kasutavad tavaliselt keraamilisi materjale, mis põhinevadalumiiniumnitriid (ALN)Sest see hõlmab kõrge temperatuuriga keskkonda. Põhjus, miks alumiiniumnitriidi küttekehasid soositakse pooljuhtide tootmisel, on peamiselt tingitud nende ainulaadsetest füüsikalistest ja keemilistest omadustest. Alumiiniumnitriidil pole mitte ainult kõrge soojusjuhtivust ning see ei suuda lühikese aja jooksul saavutada kiire kuumutamise ja jahutamise, vaid sellel on ka hea elektriline isolatsioon ja mehaaniline tugevus, tagades küttekeha stabiilsuse ja usaldusväärsuse. Lisaks on alumiiniumnitriidi soojuspaisumistegur sarnane räni omaga, mis aitab vähendada soojuspinge mõju vahvlile ja parandada protsessi saagikust.

Üldiselt öeldes,keraamilised küttekehadkasutatakse peamiselt õhukestes kilede sadestusseadmetes. Kuna see hõlmab kõrgtemperatuurilisi protsesse, on kasutatav keraamiline materjal peamiselt alumiiniumnitriid; Elektrostaatilisi padrumeid kasutatakse peamiselt söövitusseadmetes ja kasutatav keraamiline materjal on peamiselt alumiiniumoksiid. Pooljuhtimistehnoloogia arendamisel on keraamiliste küttekehade ja elektrostaatiliste padrude vahel kattumine. Näiteks on õhukestes kilede sadestumisseadmetes kasutatavad keraamilised küttekehad varustatud elektrostaatiliste pakkidega, millel on kõrgtemperatuuriliste kuumutamise ja elektrostaatilise adsorptsiooni kahesugused funktsioonid. Söövitusseadmetes kasutatavad elektrostaatilised padrunid hõlmavad ka kõrgtemperatuurilisi protsesse ja keraamiline materjal tuleb muuta alumiiniumoksiidist alumiiniumnitriidiks.