Elektrostaatiline padrun ESC

Semicorexi elektrostaatiline padrun ESC töötab elektrostaatilise adhesiooni põhimõttel, kasutades selle dielektrilisele keraamilisele kihile rakendatud kõrgepinge alalisvoolu (DC). See tehnoloogia võimaldab vahvleid või muid materjale töötlemise ajal turvaliselt kinnitada, tagades nii stabiilsuse kui ka täpsuse erinevates valmistamisetappides.

Kui padrunile rakendatakse kõrge alalispinge, migreeruvad keraamilise dielektrilise kihi laetud ioonid ja kogunevad selle pinnale. See loob tugeva elektrostaatilise välja padruni ja töödeldava toote vahele. Tekkiv elektrostaatiline külgetõmme on piisavalt tugev, et hoida vahvlit paigal, tagades, et see jääb liikumatuks isegi keerukate ja ülitäpsete toimingute ajal. See turvaline hoidmine on kriitilise tähtsusega, kuna see aitab vähendada mikroliigutusi ja vibratsiooni, mis võib kahjustada töödeldud vahvlite kvaliteeti ja terviklikkust. Võimalus kinnitada vahvleid minimaalse mehaanilise kontaktiga väldib ka füüsilisi kahjustusi, mis on selge eelis võrreldes traditsiooniliste kinnitusmeetoditega.

J-R tüüpi elektrostaatiline padrun ESC on varustatud sisseehitatud elektroodidega, mis on selle elektrostaatilise adhesiooni tekitamiseks hädavajalikud. Need elektroodid on paigutatud padrunisse, et jaotada elektrostaatiline jõud ühtlaselt üle vahvli või muude töödeldavate materjalide pinnale. Selline ühtlane jaotus tagab ühtlase rõhu, mis on vajalik ühtsuse säilitamiseks keeruliste protsesside (nt söövitamise, ioonide siirdamise ja sadestamise) ajal. Täpne adhesioon, mida pakub Elektrostaatiline padrun ESC, võimaldab sellel vastata tänapäevase pooljuhtide valmistamise nõudlikele spetsifikatsioonidele.

Lisaks oma peamisele nakkumisfunktsioonile on elektrostaatilisel padrunil ESC täiustatud temperatuuri reguleerimise süsteem. Padrunis on integreeritud kütteelemendid, mis on mõeldud töödeldava toote temperatuuri reguleerimiseks. Temperatuuri reguleerimine on pooljuhtide valmistamisel ülioluline tegur, kuna isegi väikesed temperatuurikõikumised võivad protsessi tulemust mõjutada. Elektrostaatiline padrun ESC pakub mitmetsoonilist temperatuuri reguleerimist, võimaldades vahvli erinevaid sektsioone iseseisvalt soojendada või jahutada. See tagab ühtlase temperatuuri hoidmise kogu vahvli pinnal, soodustades ühtlaseid töötlemistulemusi ja vähendades termiliste kahjustuste või väändumise ohtu.

Veel üks tähelepanuväärne omadus on kõrge puhtusastmega materjalide kasutamine elektrostaatilise padrun ESC ehitamisel. Selle padruni jaoks valitud materjalid on kavandatud minimeerima tahkete osakeste saastumist, mis on pooljuhtide valmistamisel kriitiline probleem. Isegi väikesed osakesed võivad tekitada defekte toodetavates mikrostruktuurides, mille tulemuseks on saagise vähenemine ja toote võimalik rike. Kasutades kõrge puhtusastmega materjale, vähendab elektrostaatiline padrun ESC saasteainete sattumise ohtu töötlemiskeskkonda, toetades seega kvaliteetset tootmist.

Elektrostaatiline padrun ESC on vastupidavus plasma erosioonile. Paljudes pooljuhtprotsessides, eriti söövitamisel ja sadestamisel, puutub padrun kokku reaktiivse plasmakeskkonnaga. Aja jooksul võib selline kokkupuude padrunis kasutatavaid materjale halvendada, mõjutades selle jõudlust ja eluiga. Elektrostaatiline padrun ESC on spetsiaalselt konstrueeritud nii, et see talub plasma erosiooni, võimaldades sellel säilitada oma struktuurset terviklikkust ja jõudlust isegi karmides töötlemiskeskkondades. See vastupidavus tähendab pikemat kasutusiga, mis vähendab vajadust sagedaste asendamiste järele ja minimeerib seisakuid tootmisliinil.

Elektrostaatilise padrun ESC mehaanilised omadused on samuti kriitilise tähtsusega. Padruni valmistamisel on väga kitsad tolerantsid, mis tagab selle konkreetsete rakenduste jaoks vajaliku täpse kuju ja mõõtmete säilimise. Nõutava pinnatasasuse ja sileduse saavutamiseks kasutatakse ülitäpseid töötlustehnikaid, mis on hädavajalikud ühtlase elektrostaatilise nakkuvuse tagamiseks ja õrnade vahvlite kahjustamise ohu minimeerimiseks. Padruni mehaaniline tugevus on sama muljetavaldav, võimaldades sellel taluda kõrge temperatuuri ja kõrgsurve protsesside ajal tekkivaid füüsilisi pingeid, ilma et see deformeeruks või kaotaks oma võimet vahvlit kindlalt hoida.