Alumiiniumnitriidi keraamiline padrun

Alumiiniumnitriidkeraamiline padrun kujutab endast tipptasemel lahendust pooljuhtplaatide töötlemiseks, mis on spetsiaalselt loodud vahvlite turvaliseks paigal hoidmiseks tootmise erinevatel etappidel. See uuenduslik seade, mis töötab elektrostaatilise padrunina (ESC), kasutab alumiiniumnitriidkeraamika erakordseid omadusi, et tagada vahvlite täpne ja usaldusväärne kinnipidamine.

Semicorexi alumiiniumnitriidkeraamiline padrun rakendab elektrostaatilisi jõude, et kinnitada vahvel kindlalt selle pinnale. See saavutatakse hoolikalt konstrueeritud plaadi abil, millel on integreeritud elektroodid, mis on strateegiliselt kõrgepingega kallutatud. Selle tulemusena tekib plaadi ja vahvli vahele elektrostaatiline hoidmisjõud, mis immobiliseerib vahvli tõhusalt paigal kogu töötlemisetappide jooksul.

Alumiiniumnitriidkeraamilise padruni üks silmapaistvamaid omadusi on selle suurepärane kombinatsioon kõrgest soojusjuhtivusest ja isolatsiooniomadustest. See ainulaadne omaduste kombinatsioon muudab selle ideaalseks materjalivalikuks ESC rakenduste jaoks. Kõrge soojusjuhtivus tagab tõhusa soojuse hajumise, mis on töötlemise ajal ülioluline ühtlase temperatuurijaotuse säilitamiseks üle vahvli. Samal ajal tagavad selle erakordsed isolatsiooniomadused elektrilise isolatsiooni padruni ja vahvli vahel, vähendades elektriliste häirete või tundlike pooljuhtkomponentide kahjustamise ohtu.

Alumiiniumnitriidkeraamiline padrun pakub traditsiooniliste padrunite materjalide ees mitmeid eeliseid. Selle tugev konstruktsioon tagab pikaajalise vastupidavuse, mis on võimeline vastu pidama pooljuhtide tootmiskeskkondade rangetele nõudmistele. Lisaks muudab selle ühilduvus kõrgtemperatuuriliste protsessidega ja vastupidavus soojuspaisumisele asendamatuks tööriistaks järjepidevate ja kvaliteetsete vahvlitöötlustulemuste saavutamiseks.