Alni küttekehad

Semicorex ALN -küttekehad pooljuhtide jaoks on seade, mida kasutatakse pooljuhtmaterjalide kuumutamiseks. See on peamiselt valmistatudalumiiniumnitriidi keraamikaMaterjal, millel on suurepärane soojusjuhtivus ja kõrge temperatuurikindlus ning see võib stabiilselt töötada kõrgetel temperatuuridel. Küttekeha kasutab kütteelemendina tavaliselt takistusjuhet. Kui takistusjuhtme soojenemiseks energiat energiat soojeneks, kantakse kuumus pooljuhtmaterjali kuumutamise saavutamiseks küttekeha pinnale. Pooljuhtide ALN -küttekehad mängivad olulist rolli pooljuhtide tootmisprotsessis ja neid saab kasutada sellistes protsessides nagu kristallide kasv, lõõmutamine ja küpsetamine.

Pooljuhtide tootmise esiotsa protsessis (FEOL) tuleb vahvlil teha erinevaid protsesside töötlusi, eriti kuumutades vahvli teatud temperatuuri ja on rangeid nõudeid, kuna temperatuuri ühtlusel on väga oluline mõju toote saagikusele; Samal ajal peavad pooljuhtide seadmed töötama ka keskkonnas, kus on vaakum, plasma ja keemilised gaasid, mis nõuab keraamiliste küttekehade (keraamilise küttekeha) kasutamist. Keraamilised küttekehad on pooljuhtide õhukese kile sadestusseadmete olulised komponendid. Neid kasutatakse protsessikambris ja pöörduge otse vahvliga, et kanda ja võimaldada vahvlil, et saada stabiilne ja ühtlane protsessi temperatuur ning reageerida ja genereerida vahvli pinnal õhukesed kiled suure täpsusega.

Keraamiliste küttekehade õhuke kile sadestusseadmed kasutavad tavaliselt keraamilisi materjalealumiiniumnitriid (ALN)kõrge temperatuuri tõttu. Alumiiniumnitriidil on elektriline isolatsioon ja suurepärane soojusjuhtivus; Lisaks on selle soojuspaisumistegur lähedal räni ja sellel on suurepärane plasmatakistus, muutes selle väga sobivaks kasutamiseks pooljuhtide seadme komponendina.

ALN -küttekehad hõlmavad keraamilist alust, mis kannab vahvlit, ja silindriline tugiorgan, mis toetab seda seljal. Keraamilise aluse sees või pinnal, lisaks takistuselemendile (küttekiht) kuumutamiseks on olemas ka RF -elektrood (RF -kiht). Kiire kuumutamise ja jahutamise saavutamiseks peaks keraamilise aluse paksus olema õhuke, kuid liiga õhuke vähendab ka jäikust. ALN -küttekehade tugikeha on tavaliselt valmistatud materjalist, mille soojuspaisumistegur on sarnane alusega, nii et tugiorgan on sageli valmistatud ka alumiiniumnitriidist. ALN -küttekehad võtavad võlli (võlli) alumise ainulaadse struktuuri, et kaitsta klemmide ja juhtmeid plasma ja söövitavate keemiliste gaaside mõju eest. Soojuse ülekandegaasi sisselaskeava ja väljalaskeava toru on tugikeskis varustatud, et tagada küttekeha ühtne temperatuur. Alus ja tugiorgan on keemiliselt seotud sidekihiga.

Küttekeha alusesse on maetud takistuse kütteelement. See moodustatakse juhtiva pastaga (volfram, molübdeen või tantaal), et moodustada spiraalne või kontsentriline ringi vooluringi mustri. Muidugi võib kasutada ka metalltraati, metallvõrku, metallfooliumi jne. Ekraani trükkimismeetodi kasutamisel valmistatakse kaks sama kujuga keraamilist plaati ja juhtiv pasta kantakse ühe pinnale. Seejärel paagutatakse takistusliku kütteelemendi moodustamiseks ja teine ​​keraamiline plaat kattub takistusega kütteelemendiga, et teha alusesse maetud takisti element.

Alumiiniumnitriidi keraamika soojusjuhtivust mõjutavad peamised tegurid on võre tihedus, hapnikusisaldus, pulbri puhtus, mikrostruktuur jne, mis mõjutavad alumiiniumnitriidi keraamika soojusjuhtivust.